Využití SPM přístrojů "NanoEducator" a NTGRA Aura v nanolitografii – Tomáš INGR
Tomáš INGR
Bachelor's thesis
Využití SPM přístrojů "NanoEducator" a NTGRA Aura v nanolitografii
Role of NanoEducator and NTGRA Aura in nanolitography
Anotácia:
Tato bakalářská práce se zaobírá elektronovou litografií, fotolitografií a lokální oxidační nanolitografií. Na přístroji NanoEducator se provádí silová litografie a na přístroji NTEGRA Aura lokální oxidační nanolitografie.Abstract:
This bachelor thesis deals with electron beam lithography, photolithography and local oxidation nanolithography. On the NanoEducator is done force lithography and on the NTEGRA Aura is done local oxidation nanolithography.
Jazyk práce: Czech
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 17. 4. 2012
Zverejniť od: 17. 4. 2012
Obhajoba závěrečné práce
- Vedúci: Doc. RNDr. Roman Kubínek, CSc.
Citační záznam
Jak správně citovat práci
INGR, Tomáš. Využití SPM přístrojů "NanoEducator" a NTGRA Aura v nanolitografii. Olomouc, 2012. bakalářská práce (Bc.). UNIVERZITA PALACKÉHO V OLOMOUCI. Přírodovědecká fakulta
Plný text práce
Právo: Autor si přeje zpřístupnit práci veřejnosti od 17.4.2012
Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:- Soubory jsou od 17. 4. 2012 dostupné: světu
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: UNIVERZITA PALACKÉHO V OLOMOUCI, Přírodovědecká fakultaPALACKÝ UNIVERSITY IN OLOMOUC
Faculty of ScienceBachelor programme / odbor:
Physics / Applied Physics
Práce na příbuzné téma
Názov
Vložil
Vložené
Práva