Mapování dopantu v polovodiči pomocí pomalých elektronů – Mgr. Miloš Hovorka, Ph.D.
Mgr. Miloš Hovorka, Ph.D.
Doctoral thesis
Mapování dopantu v polovodiči pomocí pomalých elektronů
Mapping of dopants in semiconductors with slow electrons
Abstract:
Práce se zabývá mapováním dopantu v křemíku prostřednictvím detekce emitovaných elektronů v rastrovací a fotoemisní elektronové mikroskopii. Za tímto účelem byly v Laboratoři polovodičů na Masarykově univerzitě vyrobeny testovací struktury s různou koncentrací bóru či fosforu v obrazcích rozmístěných na jednom substrátě. Plošné struktury s odstupňovanou koncentrací příměsí umožňují porovnávat výtěžek …moreAbstract:
The thesis deals with the mapping of dopants in silicon via detection of emitted electrons in the scanning electron microscope and the photoemission electron microscope. Specially designed silicon structures were produced in the clean room laboratory for silicon device technology at the Masaryk University. Patterns of various concentrations of boron or phosphorus were laterally distributed on a common …more
Language used: Czech
Date on which the thesis was submitted / produced: 28. 3. 2011
Identifier:
https://is.muni.cz/th/auk5s/
Thesis defence
- Date of defence: 13. 7. 2011
- Supervisor: RNDr. Luděk Frank, DrSc.
- Reader: Ing. Ivo Vávra, CSc., RNDr. Antonín Fejfar, CSc.
Citation record
Full text of thesis
Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:- světu
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakultaMasaryk University
Faculty of ScienceDoctoral programme / field:
Physics (4-years) / Wave and Partical Optics
Theses on a related topic
-
Rastrovací elektronová mikroskopie jako technika pro analýzu povrchu vzorků
Michaela Juříková -
Rastrovací elektronová mikroskopie za vysokých teplot
Jaroslav Stárek -
Využití rastrovací elektronové mikroskopie v oblasti strukturně fázové analýzy Ni-superslitin
Ondřej Liška -
Metody environmentální rastrovací elektronové mikroskopie pro studium zmrazených roztoků
Kamila Závacká -
Metody environmentální rastrovací elektronové mikroskopie pro studium zmrazených roztoků
Kamila Závacká -
Metodika hodnocení struktury magneticky měkkého feritu pomocí rastrovací elektronové mikroskopie
Ludmila Chovancová -
Rastrovací elektronová mikroskopie
Kristýna Adámková -
Rastrovací elektronová mikroskopie a její aplikace pro sensitivní vzorky
Kamila Hrubanová