Počítačové modelování napouštění reaktivního plynu pro vysokovýkonové pulzní magnetronové naprašování oxidů kovů – Milada KREJČOVÁ
Milada KREJČOVÁ
Master's thesis
Počítačové modelování napouštění reaktivního plynu pro vysokovýkonové pulzní magnetronové naprašování oxidů kovů
Computer modeling of filling the reactive gas for high pulse magnetron sputtering of metal oxides
Anotácia:
Předkládaná diplomová práce se zabývá v úvodu využitím plazmových technologií. Dále popisuje základy měření tlaku a magnetronového naprašování, včetně reaktivní depozice. Poté se zaměřuje na modelování molekulárního proudění a jeho aplikace. Ve zvolených metodách zpracování popisuje navržení testovací úlohy - proudění v trubce a také navržením simulace napouštění reaktivního plynu do vakuové komory …viacAbstract:
The presented diploma thesis is at the beginning focused on application of plasma technologies. Next, it explains basics of the pressure measurement and the magnetron sputtering, including the reactive deposition and its application. In the Methodology chapter development of the test task - flow in a tube is described. There is also described development of simulation of reactive gas inlet into a vacuum …viac
Jazyk práce: Czech
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 17. 8. 2015
Zverejniť od: 31. 12. 2999
Obhajoba závěrečné práce
- Vedúci: Mgr. Andrea Dagmar Pajdarová, Ph.D.
Citační záznam
Citace dle ISO 690:
KREJČOVÁ, Milada. \textit{Počítačové modelování napouštění reaktivního plynu pro vysokovýkonové pulzní magnetronové naprašování oxidů kovů}. Online. Diplomová práca. Plzeň: Západočeská univerzita v Plzni, Faculty of Applied Sciences. 2015. Dostupné z: https://theses.cz/id/3b02pk/.
Jak správně citovat práci
KREJČOVÁ, Milada. Počítačové modelování napouštění reaktivního plynu pro vysokovýkonové pulzní magnetronové naprašování oxidů kovů. Plzeň, 2015. diplomová práce (Ing.). ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI. Fakulta aplikovaných věd
Plný text práce
Právo: Autor si nepřeje zpřístupnění práce veřejnosti
Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:- Soubory jsou nedostupné.
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI, Fakulta aplikovaných vědVázaný výtisk práce naleznete v Univerzitní knihovně ZČU, více na http://www.knihovna.zcu.cz/kvalifikacni-prace/
University of West Bohemia
Faculty of Applied SciencesMaster programme / odbor:
Applied Sciences and Computer Engineering / Applied Physics and Physical Engineering
Práce na příbuzné téma
-
Monte Carlo simulace napouštění reaktivního plynu pro reaktivní magnetronové naprašování vrstev
Michal ŠULA -
Vysokovýkonová pulzní reaktivní magnetronová depozice vrstev VO2 na skle
Michal TICHÝ -
Návrh aktuovaného měřícího přípravku do vakuové komory elektronového mikroskopu
Jakub Imramovský -
Návrh přenosné vakuové komory pro zakládání vzorků do vysokofrekvenčního paramagnetického rezonančního spektrometru
Tomáš Láznička -
Simulace transportu par kovu v magnetronovém naprašování metodou Direct simulation Monte Carlo
Radoslav Brunovský -
Simulace proudění a komprese plynu v elektrických pohonech využívajících vzduch jako palivo na velmi nízké oběžné dráze
Marek Šťastný -
Simulace proudění a komprese plynu v elektrických pohonech využívajících vzduch jako palivo na velmi nízké oběžné dráze
Marek Šťastný -
Simulace transportu par kovu v magnetronovém naprašování metodou Direct simulation Monte Carlo
Radoslav Brunovský