Bc. Radoslav Brunovský

Bakalářská práce

Simulace transportu par kovu v magnetronovém naprašování metodou Direct simulation Monte Carlo

Vapor transport simulation in magnetron sputtering using Direct simulation Monte Carlo
Abstract:
Aim of this thesis is to determine how influential are input parameters on the results of simulation. In this thesis we study effects of input parameters on the results of Test Particle Monte Carlo simulation of vapor transport in magnetron sputtering. The effects of input parameters are studied through One-at-a-time and Morris sensitivity analysis and the results of TPMC simulations are compared with …více
Abstract:
Cílem této práce je stanovit, jak zásadní jsou vlivy vstupních parametrů na výsledky simulace. V této práci je zkoumán vliv vstupních parametrů na výsledky Test Partcile Monte Carlo simulace transportu par kovů v magnetronovém naprašování. Vliv vstupních parametrů je zkoumán One-at-a-time a Morrisovou citlivostní analýzou a nakonec jsou dosažené výsledky TPMC simulace porovnány s Direct Simulation …více
 
 
Jazyk práce: slovenština
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 14. 6. 2021

Obhajoba závěrečné práce

  • Obhajoba proběhla 12. 7. 2021
  • Vedoucí: Mgr. Adam Obrusník, Ph.D.
  • Oponent: Mgr. Peter Klein, Ph.D.

Citační záznam

Plný text práce

Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:
  • světu
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta