Zpět na vyhledávání

Mgr. Radovan Čech

Bakalářská práce

Studování povrchu mechanickým profilometrem

Study of surfaces using a mechanical profilometer
Anotace:
Předložená práce se zabývá studiem povrchů mechanickým profilometrem. Profilometr je přístroj, který hrotem snímá tvar a nerovnosti povrchu v řádu nanometrů. Přístroj jsme použili pro změření profilů struktur rezistorů vyleptaných do hliníkových vrstev deponovaných na křemíkové desky, za účelem zjištění tloušťky deponované vrstvy. To nám umožnilo experimentálně určit hodnotu rezistivity pro AlCuSi …více
Abstract:
This work deals with study of surfaces by mechanical profilometer. Profilometer is a device, which scans shape and roughness (irregularities) of surfaces in scale of nanometers. We used this device to measure profiles of resistor structures etched into aluminium layers deposited on silicon wafers with objective of detecting the thickness of deposited layer. This allows us to define value of resistivity …více
 

Klíčová slova

profil profilometr profilometrie morfologie povrchu rezistivita tenká vrstva metalizace profile profilometer profilometry morfology of surface resistivity thin layer metallization
 
Jazyk práce: čeština
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 20. 5. 2010
Identifikátor: https://is.muni.cz/th/mlmy6/

Obhajoba závěrečné práce

  • Obhajoba proběhla 28. 6. 2010
  • Vedoucí: doc. RNDr. Petr Mikulík, Ph.D.

Citační záznam

Citovat tuto práci

Plný text práce

Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:
  • světu
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta
Složka Odkaz na adresář do lokálního úložiště instituce