Dušan Poštulka

Bakalářská práce

Studium 3D-defektů po epitaxní depozici tenkých vrstev křemíku CVD metodou

Study of 3D-defects after epitaxial deposition of thin layers of silicon by the CVD method
Anotace:
Tato práce je věnována studiu výroby křemíkových desek, epitaxnímu růstu křemíkových vrstev metodou chemické depozice par na křemíkových deskách, coby substrátu a následně vzniklým poepitaxním 3D-defektům zvané nodules. Využitím softwaru pro plánování experimentu (JMP) byly navrhnuty nové parametry chemické depozice k minimalizaci velikosti popřípadě četnosti nodules na neleštěné straně křemíkové desky …více
Abstract:
The bachelor thesis is devoted to the study of the production of silicon wafers, epitaxial growth of silicon films by chemical vapor deposition on silicon wafers, as a substrate, and subsequently resulting after-epitaxial 3D-defects called nodules. Using software planning experiment (JMP) were designed to the new parameters of the chemical deposition of minimizing the size or frequency of nodules on …více
 
 
Jazyk práce: čeština
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 15. 5. 2017

Obhajoba závěrečné práce

  • Obhajoba proběhla 6. 6. 2017
  • Vedoucí: Karla Čech Barabaszová
  • Oponent: Jiří Luňáček

Citační záznam

Plný text práce

Právo: Plné texty vysokoškolských kvalifikačních prací obhájených na Vysoké škole báňské - Technické univerzitě Ostrava jsou uloženy v repozitáři DSpace. Přístup k plným textům mají všichni uživatelé bez omezení. Přístup je omezen pouze ve výjimečných případech, zpravidla z důvodu ochrany duševního vlastnictví. Nepřístupné práce jsou označeny jako closedAccess nebo embargoedAccess. Tištěné verze prácí jsou uloženy v Ústřední knihovně VŠB-TUO a jsou prezenčně přístupné ve studovně diplomových prací. Další nakládání s prací (kopírování, opisy, MVS) se řídí Knihovní a výpůjčním řádem Ústřední knihovny VŠB-TUO.

Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:
  • autentizovaným zaměstnancům ze stejné školy/fakulty
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: VŠB - Technická univerzita Ostrava