Reaktivní magnetronové naprašování AlOx/AlN kompozitních vrstev a vyšetření jejich vlastností – Bc. Roman SPLÍTEK
Bc. Roman SPLÍTEK
Diplomová práce
Reaktivní magnetronové naprašování AlOx/AlN kompozitních vrstev a vyšetření jejich vlastností
Reactive magnetron sputtering of AlOx/AlN composite thin films and investigation their feature
Anotace:
Tato práce si klade za cíl seznámit čtenáře s výsledky experimentů při přípravě kompozitních tenkých vrstev Al-O-N metodou reaktivního magnetronového naprašování s pulzním napouštěním plynu. Pro účely této práce byly připraveny dvě série vzorků u nichž byly následně vyšetřovány mechanické a optické vlastnosti. Ze získaných dat byly poté odvozeny podmínky a depoziční parametry pro přípravu vrstev s …víceAbstract:
This thesis reports on the results of experiments of preparation of composite Al-O-N thin films prepared by the reactive magnetron sputtering using the pulsed oxygen flow. Two series of samples were prepared and their mechanical and optical features were evaluated. Obtained experimental data helped to set the proper deposition conditions for the films with required properties.
Jazyk práce: čeština
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 7. 6. 2011
Identifikátor:
43617
Obhajoba závěrečné práce
- Vedoucí: Prof. Ing. Jindřich Musil, DrSc.
Citační záznam
Citace dle ISO 690:
SPLÍTEK, Roman. \textit{Reaktivní magnetronové naprašování AlOx/AlN kompozitních vrstev a vyšetření jejich vlastností}. Online. Diplomová práce. Plzeň: Západočeská univerzita v Plzni, Fakulta aplikovaných věd. 2011. Dostupné z: https://theses.cz/id/4esp1o/.
Jak správně citovat práci
SPLÍTEK, Roman. Reaktivní magnetronové naprašování AlOx/AlN kompozitních vrstev a vyšetření jejich vlastností. Plzeň, 2011. diplomová práce (Ing.). ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI. Fakulta aplikovaných věd
Plný text práce
Právo: Autor si přeje zpřístupnit práci veřejnosti až od 07. 06. 2011
Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:- světu
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI, Fakulta aplikovaných vědZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI
Fakulta aplikovaných vědMagisterský studijní program / obor:
Aplikované vědy a informatika / Aplikovaná fyzika a fyzikální inženýrství
Práce na příbuzné téma
-
Magnetronové naprašování vrstev s vylepšenými mechanickými a tribologickými vlastnostmi
Daniel JAVDOŠŇÁK -
Počítačové modelování napouštění reaktivního plynu pro vysokovýkonové pulzní magnetronové naprašování oxidů kovů
Milada KREJČOVÁ -
Vývoj a studium pokročilých multivrstev a nanokompozitů připravených s použitím magnetronového naprašování a PECVD
Richard Václavik -
Plazmové polymery na bázi PLA s laditelnou permeabilitou/biodegradabilitou
Liliana Kučerová -
Nestacionární model pro vysokovýkonové pulzní magnetronové rozprašování kovů
Milada KREJČOVÁ -
Vývoj technologie plazmochemické depozice z plynné fáze pro zlepšení užitných vlastností polymerních tenkých vrstev
Roman Přibyl -
Alternativní přístupy přípravy tenké vrstvy nitridu hliníku pomocí metody depozice atomárních vrstev
Rashid Dallaev -
NÁVRH, TECHNOLOGIE DEPOZICE A CHARAKTERIZACE OPTICKÝCH TENKÝCH VRSTEV PRO SPECIÁLNÍ APLIKACE
Jindřich Oulehla