Reaktivní magnetronové naprašování AlOx/AlN kompozitních vrstev a vyšetření jejich vlastností

Bc. Roman SPLÍTEK

Diplomová práce

Reactive magnetron sputtering of AlOx/AlN composite thin films and investigation their feature

Anotace:

Tato práce si klade za cíl seznámit čtenáře s výsledky experimentů při přípravě kompozitních tenkých vrstev Al-O-N metodou reaktivního magnetronového naprašování s pulzním napouštěním plynu. Pro účely této práce byly připraveny dvě série vzorků u nichž byly následně vyšetřovány mechanické a optické vlastnosti. Ze získaných dat byly poté odvozeny podmínky a depoziční parametry pro přípravu vrstev s požadovanými vlastnostmi.

Abstract:

This thesis reports on the results of experiments of preparation of composite Al-O-N thin films prepared by the reactive magnetron sputtering using the pulsed oxygen flow. Two series of samples were prepared and their mechanical and optical features were evaluated. Obtained experimental data helped to set the proper deposition conditions for the films with required properties.

Klíčová slova

magnetronové naprašování, tenké vrstvy, oxynitridy, plazmové technologie

Jazyk práce: čeština

Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 7. 6. 2011

Identifikátor: 43617

Obhajoba závěrečné práce

• Vedoucí: Prof. Ing. Jindřich Musil, DrSc.

ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI

Fakulta aplikovaných věd

Magisterský studijní program / obor:
Aplikované vědy a informatika / Aplikovaná fyzika a fyzikální inženýrství