Reaktivní magnetronové naprašování AlOx/AlN kompozitních vrstev a vyšetření jejich vlastností – Bc. Roman SPLÍTEK
Bc. Roman SPLÍTEK
Master's thesis
Reaktivní magnetronové naprašování AlOx/AlN kompozitních vrstev a vyšetření jejich vlastností
Reactive magnetron sputtering of AlOx/AlN composite thin films and investigation their feature
Abstract:
Tato práce si klade za cíl seznámit čtenáře s výsledky experimentů při přípravě kompozitních tenkých vrstev Al-O-N metodou reaktivního magnetronového naprašování s pulzním napouštěním plynu. Pro účely této práce byly připraveny dvě série vzorků u nichž byly následně vyšetřovány mechanické a optické vlastnosti. Ze získaných dat byly poté odvozeny podmínky a depoziční parametry pro přípravu vrstev s …moreAbstract:
This thesis reports on the results of experiments of preparation of composite Al-O-N thin films prepared by the reactive magnetron sputtering using the pulsed oxygen flow. Two series of samples were prepared and their mechanical and optical features were evaluated. Obtained experimental data helped to set the proper deposition conditions for the films with required properties.
Language used: Czech
Date on which the thesis was submitted / produced: 7. 6. 2011
Identifier:
43617
Thesis defence
- Supervisor: Prof. Ing. Jindřich Musil, DrSc.
Citation record
ISO 690-compliant citation record:
SPLÍTEK, Roman. \textit{Reaktivní magnetronové naprašování AlOx/AlN kompozitních vrstev a vyšetření jejich vlastností}. Online. Master's thesis. Plzeň: University of West Bohemia, Faculty of Applied Sciences. 2011. Available from: https://theses.cz/id/4esp1o/.
The right form of listing the thesis as a source quoted
SPLÍTEK, Roman. Reaktivní magnetronové naprašování AlOx/AlN kompozitních vrstev a vyšetření jejich vlastností. Plzeň, 2011. diplomová práce (Ing.). ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI. Fakulta aplikovaných věd
Full text of thesis
Accessibility: Autor si přeje zpřístupnit práci veřejnosti až od 07. 06. 2011
Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:- světu
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI, Fakulta aplikovaných vědUniversity of West Bohemia
Faculty of Applied SciencesMaster programme / field:
Applied Sciences and Computer Engineering / Applied Physics and Physical Engineering
Theses on a related topic
-
Magnetronové naprašování vrstev s vylepšenými mechanickými a tribologickými vlastnostmi
Daniel JAVDOŠŇÁK -
Počítačové modelování napouštění reaktivního plynu pro vysokovýkonové pulzní magnetronové naprašování oxidů kovů
Milada KREJČOVÁ -
Vývoj a studium pokročilých multivrstev a nanokompozitů připravených s použitím magnetronového naprašování a PECVD
Richard Václavik -
Plazmové polymery na bázi PLA s laditelnou permeabilitou/biodegradabilitou
Liliana Kučerová -
Nestacionární model pro vysokovýkonové pulzní magnetronové rozprašování kovů
Milada KREJČOVÁ -
Vývoj technologie plazmochemické depozice z plynné fáze pro zlepšení užitných vlastností polymerních tenkých vrstev
Roman Přibyl -
Alternativní přístupy přípravy tenké vrstvy nitridu hliníku pomocí metody depozice atomárních vrstev
Rashid Dallaev -
NÁVRH, TECHNOLOGIE DEPOZICE A CHARAKTERIZACE OPTICKÝCH TENKÝCH VRSTEV PRO SPECIÁLNÍ APLIKACE
Jindřich Oulehla