Bc. Tomáš Gardelka

Diplomová práce

Studium termální stability diamantu-podobných tenkých vrstev modifikovaných křemíkem, kyslíkem a dusíkem

Study of thermal stability of diamond-like carbon thin films modified by silicon, oxygen and nitrogen
Anotace:
Cílem této diplomové práce bylo studovat termální stabilitu diamantu-podobných vrstev modifikovaných křemíkem a kyslíkem. K dispozici jsme měli dvě sady vzorků s různým obsahem křemíku a kyslíku, které byly deponované na křemíkový substrát metodou PECVD. Také jsme měli referenční sadu s čistým DLC a tedy nulovým obsahem křemíku a kyslíku. Pomocí optických měření jsme změřili tloušťky vrstev a termální …více
Abstract:
In this thesis we study thermal stability of diamond-like carbon films modified with silicon and oxygen. For this purpose we had two sets of samples with different silicon and oxygen content, which were deposited on silicon substrate by PECVD method. We also had a set of samples with pure DLC films. We calculated thicknesses of all the films from optical measurements. Thermal stability of these films …více
 
 
Jazyk práce: čeština
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 14. 5. 2012

Obhajoba závěrečné práce

  • Obhajoba proběhla 12. 6. 2012
  • Vedoucí: doc. RNDr. Vilma Buršíková, Ph.D.

Citační záznam

Plný text práce

Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:
  • světu
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta