Studium termální stability diamantu-podobných tenkých vrstev modifikovaných křemíkem, kyslíkem a dusíkem – Bc. Tomáš Gardelka
Bc. Tomáš Gardelka
Master's thesis
Studium termální stability diamantu-podobných tenkých vrstev modifikovaných křemíkem, kyslíkem a dusíkem
Study of thermal stability of diamond-like carbon thin films modified by silicon, oxygen and nitrogen
Abstract:
Cílem této diplomové práce bylo studovat termální stabilitu diamantu-podobných vrstev modifikovaných křemíkem a kyslíkem. K dispozici jsme měli dvě sady vzorků s různým obsahem křemíku a kyslíku, které byly deponované na křemíkový substrát metodou PECVD. Také jsme měli referenční sadu s čistým DLC a tedy nulovým obsahem křemíku a kyslíku. Pomocí optických měření jsme změřili tloušťky vrstev a termální …moreAbstract:
In this thesis we study thermal stability of diamond-like carbon films modified with silicon and oxygen. For this purpose we had two sets of samples with different silicon and oxygen content, which were deposited on silicon substrate by PECVD method. We also had a set of samples with pure DLC films. We calculated thicknesses of all the films from optical measurements. Thermal stability of these films …more
Language used: Czech
Date on which the thesis was submitted / produced: 14. 5. 2012
Identifier:
https://is.muni.cz/th/d9uow/
Thesis defence
- Date of defence: 12. 6. 2012
- Supervisor: doc. RNDr. Vilma Buršíková, Ph.D.
Citation record
ISO 690-compliant citation record:
GARDELKA, Tomáš. \textit{Studium termální stability diamantu-podobných tenkých vrstev modifikovaných křemíkem, kyslíkem a dusíkem}. Online. Master's thesis. Brno: Masaryk University, Faculty of Science. 2012. Available from: https://theses.cz/id/4m2c3w/.
Full text of thesis
Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:- světu
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakultaMasaryk University
Faculty of ScienceMaster programme / field:
Physics / Plasma Physics
Theses on a related topic
-
Vybrané termomechanické vlastnosti kinesiotapu
Tereza Jedličková -
Termomechanické vlastnosti vybraných hliníkových slitin
Marek Břuska -
Zrychlené mikrostrukturní děje při nových procesech tepelného a termomechanického zpracování
Daniela HAUSEROVÁ -
Vliv parametrů termomechanického zpracování na výsledné vlastnosti B-sloupku
Radek SRB -
Hodnocení termomechanických a termofyzikálních vlastností vybraných hořčíkových slitin
Tomáš Zezula -
Studium vlivu termické desorpce na změny vybraných vlastností zpracovávaných materiálů s důrazem na mobilitu těžkých kovů
Karolína Keprtová -
Studium tenkých vrstev a povrchů optickými spektroskopickými metodami
Pavel Ondračka