Měření elektrických vlastností nanostruktur pomocí Kelvinovy mikroskopie

Bc. Lucie Krejčí

Bakalářská práce

Measurements of electrical properties of nanostructures using Kelvin microscopy

Anotace:

V této bakalářské práci se seznamujeme s mikroskopií skenovací sondou a metodami z ní odvozené. Jednou z těchto metod je mikroskopie atomárních sil, ze které je odvozená i Kelvinova silová mikroskopie. Na ni je i tato práce zaměřena. V experimentální části se nejprve snažíme najít nejvhodnější parametry pro zobrazení malých struktur na referenčním vzorku. Poté zjišťujeme velikosti nanostruktur pomocí mikroskopie atomárních sil a následně měříme jejich elektrické vlastnosti pomocí Kelvinovy mikroskopie. Limity této metody zkoumáme na kvantových tečkách CdSe/Zns, InAs/GaAs a CdTe.

Abstract:

In this bachelor thesis we study the scanning probe microscopy and methods derived from it. One of these methods is the atomic force microscopy, from which the Kelvin force microscopy is derived, on which is this work focused on. In the experimental part, we first try to find the most suitable parameters for displaying small structures on a reference sample. Then we determine the sizes of the nanostructures using atomic force microscopy and measure their electrical properties using Kelvin microscopy. We investigate the limits of that method by performing measurements on CdSe/Zns, InAs/GaAs and CdTe quantum dots.

Klíčová slova

Kelvinova silová mikroskopie (KPFM), Mikroskopie atomárních sil (AFM), Mikroskopie skenovací sondou (SPM), sonda, hrot, kvantové tečky (QDs)

Jazyk práce: čeština

Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 23. 5. 2022

Obhajoba závěrečné práce

• Obhajoba proběhla 24. 6. 2022
• Vedoucí: Mgr. Petr Klenovský, Ph.D.
• Oponent: Mgr. Filip Münz, PhD.

Masarykova univerzita

Přírodovědecká fakulta

Bakalářský studijní program / obor:
Fyzika / Fyzika