Depozice nanokrystalických diamantových vrstev v mikrovlnném výboji – Mgr. Jiří Šperka, Ph.D.
Mgr. Jiří Šperka, Ph.D.
Bakalářská práce
Depozice nanokrystalických diamantových vrstev v mikrovlnném výboji
Deposition of nanocrystalline diamond films in microwave discharge
Anotace:
Tato práce se zabývá depozicí nanokrystalických diamantových vrstev na křemíkové substráty plazmochemickou depozicí z plynné fáze v mikrovlnném plazmovém reaktoru zvonovitého tvaru typu ASTeX, který využívá mikrovlnný (2,45 GHz) a vysokofrekvenční (13,56 MHz) výboj. Všechny experimenty popsané v této práci byly připraveny za stejných depozičních podmínek. Výchozím plynem byl metan zředěný ve vodíku …víceAbstract:
This work deals with the deposition of nanocrystalline diamond films on silicon substrates by plasma enhanced chemical vapour deposition in conventional bell jar plasma reactor of ASTeX type using dual frequency discharge, microwave (2,45 GHz) and radio (13,56 MHz) frequency plasma. All experiments described in this work have been prepared with constant parameters. The growth was performed using methane …více
Jazyk práce: čeština
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 25. 5. 2009
Identifikátor:
https://is.muni.cz/th/dsv70/
Obhajoba závěrečné práce
- Obhajoba proběhla 30. 6. 2009
- Vedoucí: doc. Mgr. Lenka Zajíčková, Ph.D.
Citační záznam
Plný text práce
Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:- světu
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakultaMasarykova univerzita
Přírodovědecká fakultaBakalářský studijní program / obor:
Fyzika / Fyzika
Práce na příbuzné téma
-
Vývoj technologie plazmochemické depozice z plynné fáze pro zlepšení užitných vlastností polymerních tenkých vrstev
Roman Přibyl -
Objemová syntéza uhlíkových nanotrubek a železných nanočástic metodou plazmochemické depozice z plynné fáze (PECVD)
Petr Synek -
Plazmochemická depozice vrstev z plynné fáze s využitím směsí TVS/Ar a TVS/O2
Jakub Sadílek -
Plazmochemická depozice vrstev z plynné fáze
Luboš Žák -
Plazmochemická depozice diamantových vrstev v duálním mikrovlnném/vysokofrekvečním výboji
Jiří Šperka -
Plazmochemická depozice nanostrukturovaných diamantupodobných tenkých vrstev
Tomáš Novotný -
Plazmochemická depozice organosilikonových tenkých vrstev
Václav Pekař -
Plasma enhanced chemical vapor deposition of functional coatings for biomedical applications
Miroslav Michlíček