Studium tenkých vrstev a povrchů optickými spektroskopickými metodami – Bc. Pavel Ondračka
Bc. Pavel Ondračka
Master's thesis
Studium tenkých vrstev a povrchů optickými spektroskopickými metodami
Study of thin films and surfaces by optical spectroscopic methods
Abstract:
Tato diplomová práce se věnuje zkoumání tenkých DLC vrstev deponovaných plazmochemickou metodou PECVD pomocí optických diagnostických metod (UV/VIS odrazivost, UV/VIS elipsometrie a IR propustnost) a iontových metod RBS a ERDA. V rámci této práce je rozšířen stávající model dielektrické odezvy DLC materiálů, především co se týče absorpce vibračních stavů uhlovodíkových skupin. Optická data čtyř vybraných …moreAbstract:
DLC thin films deposited by plasma enhanced chemical vapor deposition were studied by optical methods (UV/VIS ellipsometry, UV/VIS reflectance and IR transmittance) and ion beam methods (Rutherford backscattering spectroscopy and elastic recoil detection analysis). Current model of dielectric response of DLC material was further developed, with focus on the absorption of hydrocarbon groups vibration …more
Language used: Czech
Date on which the thesis was submitted / produced: 17. 5. 2013
Identifier:
https://is.muni.cz/th/jr7w3/
Thesis defence
- Date of defence: 18. 6. 2013
- Supervisor: doc. Mgr. Lenka Zajíčková, Ph.D.
Citation record
Full text of thesis
Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:- světu
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakultaMasaryk University
Faculty of ScienceMaster programme / field:
Physics / Plasma Physics
Theses on a related topic
-
Optická diagnostika klouzavého výboje
Jan Gregor -
Optická a mikrovlnná diagnostika výboje s povrchovou vlnou
Martin Duchaň -
Optická diagnostika bariérových výbojů
Barbora Doležalová -
Diagnostika dohasínání pulzního plazmatu
Petr Novotný -
Depozice mikro-a nanokrystalických diamantových vrstev metodou PECVD
Monika Karásková -
Určování optických konstant a strukturních parametrů tenkých DLC vrstev s příměsí křemíku a kyslíku
Pavlína Kührová -
Visualization of DLC protocols
Filip Fabka -
Optimalizace vlastností ochranných DLC (Diamond Like Carbon) vrstev pomocí kovových příměsí
Ivana Venkrbcová