Bc. Vojtěch Homola

Diplomová práce

Diagnostika reaktivního kapacitně vázaného plazmatu

Diagnostics of reactive capacitively coupled plasma
Anotace:
Nízkotlaké plazma je komplikované prostředí, ve kterém probíhá množství fyzikálních a~chemických procesů. Cílem této práce je diagnostika kapacitně vázaného nízkotlakého výboje ve směsi vodíku a dusíku. Použité diagnostické metody jsou hmotnostní spektrometrie s~možností měřit rozdělovací funkci energie iontů, Langmuirova sonda a optická emisní spektrometrie.
Abstract:
Low pressure plasma is highly complicated environment where many physical and chemical transformations are to process. The goal of this thesis is the diagnostics of the capacitively coupled low pressure discharge in the hydrogen and nitrogen gas mixture. Author available methodics offered to use: the mass spectrometry with ion energy distribution function measuring option, Langmuir probe and optical …více
 

Klíčová slova

Kapacitně vázané plazma Vodík a dusík Hmotnostní spektrometrie Langmuirova sonda Optická emisní spektrometrie Radikály
 
Jazyk práce: čeština
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 31. 3. 2014
Identifikátor: https://is.muni.cz/th/fblcb/

Obhajoba závěrečné práce

  • Obhajoba proběhla 16. 6. 2014
  • Vedoucí: Mgr. Pavel Dvořák, Ph.D.

Citační záznam

Citovat tuto práci

Plný text práce

Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:
  • světu
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta
Složka Odkaz na adresář do lokálního úložiště instituce