Diagnostika reaktivního kapacitně vázaného plazmatu – Bc. Vojtěch Homola
Bc. Vojtěch Homola
Diplomová práce
Diagnostika reaktivního kapacitně vázaného plazmatu
Diagnostics of reactive capacitively coupled plasma
Anotace:
Nízkotlaké plazma je komplikované prostředí, ve kterém probíhá množství fyzikálních a~chemických procesů. Cílem této práce je diagnostika kapacitně vázaného nízkotlakého výboje ve směsi vodíku a dusíku. Použité diagnostické metody jsou hmotnostní spektrometrie s~možností měřit rozdělovací funkci energie iontů, Langmuirova sonda a optická emisní spektrometrie.Abstract:
Low pressure plasma is highly complicated environment where many physical and chemical transformations are to process. The goal of this thesis is the diagnostics of the capacitively coupled low pressure discharge in the hydrogen and nitrogen gas mixture. Author available methodics offered to use: the mass spectrometry with ion energy distribution function measuring option, Langmuir probe and optical …více
Jazyk práce: čeština
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 31. 3. 2014
Identifikátor:
https://is.muni.cz/th/fblcb/
Obhajoba závěrečné práce
- Obhajoba proběhla 16. 6. 2014
- Vedoucí: Mgr. Pavel Dvořák, Ph.D.
Plný text práce
Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:- světu
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakultaMasarykova univerzita
Přírodovědecká fakultaMagisterský studijní program / obor:
Fyzika / Fyzika plazmatu
Práce na příbuzné téma
-
Analýza kokosového mléka metodami atomové spektrometrie
Elena Souček -
Povrchové mapování pomocí plazmové spektrometrie s využitím laseru
Kateřina Štěpánková -
Studium vlivu polymerních materiálů na složení plazmatu pomocí optické emisní spektrometrie
Miroslav Kaňát -
Analýza resistentních niklových slitin pro letecký průmysl metodami atomové spektrometrie
Lucie Šimoníková -
Spektrometrie laserem buzeného plazmatu LIBS ve spojení s laserovou ablací - ICP OES
Magda Bařinová -
Využití optické emisní a hmotností spektrometrie v prvkové analýze koňských žíní
Aneta Pátková -
Spojení SPE extrakce s optickou emisní spektrometrií s indukčně vázaným plazmatem pro stanovení jodu
Radek Kavřík -
Komplexní diagnostika reaktivního plazmatu doutnavého výboje
Pavel Dvořák