Strukturní vlastnosti epitaxních Ge mikrokrystalů na Si

Bc. Jakub Rozbořil

Diplomová práce

Structural properties of Ge microcrystals on Si

Anotace:

Předložená práce se zabývá studiem struktury epitaxních Ge mikrokrystalů, které se připravují depozicí na Si substrátu obsahujícím pravidelnou síť litograficky vytvořených sloupečků. Krystalová kvalita Ge mikrokrystalů byla studována pomocí rentgenové difrakce metodou mapování reciprokého prostoru. Rozměry a tvary Ge mikrokrystalů byly analyzovány na základě snímků ze skenovacího elektronového mikroskopu. Proměřeno bylo celkem 24 vzorků s různou geometrií Ge mikrokrystalů, u kterých byl stanoven mřížový parametr v laterálním a vertikálním směru, složky tenzoru deformace a stupeň relaxace. Provedena byla také analýza pološířky difrakčních píků v závislosti na plošném pokrytí Ge mikrokrystaly, která je v práci podrobně diskutována a srovnána s výsledky z jiných publikací.

Abstract:

This thesis deals with a study of structure of epitaxial Ge microcrystals, which are produced by deposition on Si substrate containing a regular net of lithographically formed pillars. Crystal structure of Ge microcrystals was studied by x-ray diffraction method called reciprocal space mapping. Sizes and shapes of Ge microcrystals were analyzed using scanning electron microscope micrographs. Series of 24 samples of Ge microcrystals with different geometry was mesured, where their lateral and vertical lattice parameter, components of the strain tensor and the degree of relaxation were determined. We have also performed analysis of diffraction peaks full width at half maximum depending on the coverage of Ge microcrystals. The analysis was discussed and compared in details with other publications.

Klíčová slova

Rtg difrakce, mikrokrystal, heteroepitaxní růst, mřížový parametr, X-ray diffraction, microcrystal, heteroepitaxial growth, lattice parameter

Jazyk práce: čeština

Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 15. 5. 2014

Obhajoba závěrečné práce

• Obhajoba proběhla 19. 6. 2014
• Vedoucí: Mgr. Mojmír Meduňa, Ph.D.

Masarykova univerzita

Přírodovědecká fakulta

Magisterský studijní program / obor:
Fyzika / Fyzika kondenzovaných látek