Bc. Jiří Zelinka
Master's thesis
Teplotní stabilita SiGe/Si multivrtev
Temperature stability of SiGe/Si multilayers
Abstract:
Předložená práce se zabývá interdifuzí v multivrstvách SiGe s průměrným obsahem germania 50%, kterou studuje za použití metod rentgenové reflektivity a difrakce realizovaných in-situ ve vysokoteplotní vakuové komůrce. Rozsah teplot žíhání jednotlivých vzorků byl 620°C až 750°C, přičemž hledané interdifuzní koeficienty pro jednotlivé teploty žíhání jsou z naměřených dat získávány třemi odlišnými způsoby …moreAbstract:
In this work interdiffusion in SiGe multilayers with average content of germanium 50% was studied by x-ray reflectivity and x-ray diffraction methods during in-situ annealing in high temperature vacuum chamber. The annealing was realized in temperature range from 620°C to 750°C and the interdiffusion coefficient was extracted from measured data by three different techniques. The first technique was …more
Language used: Czech
Date on which the thesis was submitted / produced: 13. 5. 2011
Identifier:
https://is.muni.cz/th/b8ern/
Thesis defence
- Date of defence: 13. 6. 2011
- Supervisor: Mgr. Mojmír Meduňa, Ph.D.
Full text of thesis
Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:- světu
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakultaMasaryk University
Faculty of ScienceMaster programme / field:
Physics / Condensed Matter Physics
Theses on a related topic
-
Pokročilé aplikace rentgenové reflektivity a metody analýzy dat
Karolína Pěčková