Teplotní stabilita SiGe/Si multivrtev – Bc. Jiří Zelinka
Bc. Jiří Zelinka
Master's thesis
Teplotní stabilita SiGe/Si multivrtev
Temperature stability of SiGe/Si multilayers
Anotácia:
Předložená práce se zabývá interdifuzí v multivrstvách SiGe s průměrným obsahem germania 50%, kterou studuje za použití metod rentgenové reflektivity a difrakce realizovaných in-situ ve vysokoteplotní vakuové komůrce. Rozsah teplot žíhání jednotlivých vzorků byl 620°C až 750°C, přičemž hledané interdifuzní koeficienty pro jednotlivé teploty žíhání jsou z naměřených dat získávány třemi odlišnými způsoby …viacAbstract:
In this work interdiffusion in SiGe multilayers with average content of germanium 50% was studied by x-ray reflectivity and x-ray diffraction methods during in-situ annealing in high temperature vacuum chamber. The annealing was realized in temperature range from 620°C to 750°C and the interdiffusion coefficient was extracted from measured data by three different techniques. The first technique was …viac
Jazyk práce: Czech
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 13. 5. 2011
Identifikátor:
https://is.muni.cz/th/b8ern/
Obhajoba závěrečné práce
- Obhajoba proběhla 13. 6. 2011
- Vedúci: Mgr. Mojmír Meduňa, Ph.D.
Plný text práce
Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:- světu
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakultaMasaryk University
Faculty of ScienceMaster programme / odbor:
Physics / Condensed Matter Physics
Práce na příbuzné téma
-
Pokročilé aplikace rentgenové reflektivity a metody analýzy dat
Karolína Pěčková