Návrh řízení plazmové depozice tenkých vrstev – Bc. Martin Šetina
Bc. Martin Šetina
Master's thesis
Návrh řízení plazmové depozice tenkých vrstev
Design of plasma deposition control for thin films
Abstract:
Tato práce se zabývá kompletním návrhem a realizací řízení vakuové depoziční komory. Klade si za cíl co nejvíce zmapovat problematiku a navrhnout elektronické řízení, které bude možné snadno přizpůsobovat konkrétním požadavkům výzkumné činnosti v oblasti nanomateriálů a tenkých struktur.Abstract:
This thesis focuses on the complete design and implementation of control for a vacuum deposition chamber. Its objective is to comprehensively explore the issues and propose electronic control that can be easily adapted to the specific demands of research activities in the field of nanomaterials and thin structures.Keywords
RF PACVD
Language used: Czech
Date on which the thesis was submitted / produced: 18. 5. 2023
Thesis defence
- Supervisor: doc. Ing. Stanislav Petrík, CSc.
Citation record
ISO 690-compliant citation record:
ŠETINA, Martin. \textit{Návrh řízení plazmové depozice tenkých vrstev}. Online. Master's thesis. Liberec: Technical University of Liberec, Faculty of Mechatronics, Informatics and Interdisciplinary Studies. 2023. Available from: https://theses.cz/id/7h5d54/.
The right form of listing the thesis as a source quoted
Šetina, Martin. Návrh řízení plazmové depozice tenkých vrstev. Liberec, 2023. diplomová práce (Ing.). Technická univerzita v Liberci. Fakulta mechatroniky, informatiky a mezioborových studií
Full text of thesis
Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:- světu
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: Technická univerzita v Liberci, Fakulta mechatroniky, informatiky a mezioborových studiíTechnical University of Liberec
Faculty of Mechatronics, Informatics and Interdisciplinary StudiesMaster programme / field:
Electrical Engineering and Informatics / Mechatronics
Theses on a related topic
Name
Posted by
Uploaded/Created
Rights