Návrh řízení plazmové depozice tenkých vrstev – Bc. Martin Šetina
Bc. Martin Šetina
Master's thesis
Návrh řízení plazmové depozice tenkých vrstev
Design of plasma deposition control for thin films
Anotácia:
Tato práce se zabývá kompletním návrhem a realizací řízení vakuové depoziční komory. Klade si za cíl co nejvíce zmapovat problematiku a navrhnout elektronické řízení, které bude možné snadno přizpůsobovat konkrétním požadavkům výzkumné činnosti v oblasti nanomateriálů a tenkých struktur.Abstract:
This thesis focuses on the complete design and implementation of control for a vacuum deposition chamber. Its objective is to comprehensively explore the issues and propose electronic control that can be easily adapted to the specific demands of research activities in the field of nanomaterials and thin structures.Kľúčové slová
RF PACVD
Jazyk práce: Czech
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 18. 5. 2023
Obhajoba závěrečné práce
- Vedúci: doc. Ing. Stanislav Petrík, CSc.
Citační záznam
Citace dle ISO 690:
ŠETINA, Martin. \textit{Návrh řízení plazmové depozice tenkých vrstev}. Online. Diplomová práca. Liberec: Technická univerzita v Liberci, Faculty of Mechatronics, Informatics and Interdisciplinary Studies. 2023. Dostupné z: https://theses.cz/id/7h5d54/.
Jak správně citovat práci
Šetina, Martin. Návrh řízení plazmové depozice tenkých vrstev. Liberec, 2023. diplomová práce (Ing.). Technická univerzita v Liberci. Fakulta mechatroniky, informatiky a mezioborových studií
Plný text práce
Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:- světu
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: Technická univerzita v Liberci, Fakulta mechatroniky, informatiky a mezioborových studiíTechnical University of Liberec
Faculty of Mechatronics, Informatics and Interdisciplinary StudiesMaster programme / odbor:
Electrical Engineering and Informatics / Mechatronics
Práce na příbuzné téma
Názov
Vložil
Vložené
Práva