Mgr. Katarína Bernátová

Bakalářská práce

Příprava nanostrukturovaných tenkých vrstev magnetronovým naprašováním buzeným pulzy velkého výkonu

Deposition of thin films by magnetron sputtering excited by high power pulses
Abstract:
This thesis is dedicated to the study of high power impulse magnetron sputtering (HiPIMS) compared with the process of direct current magnetron sputtering (DC-MS). The object extensively examined in the work is a deposited nanocomposite thin layer TiC/C. In the first chapter the theoretical basis of the physical principle of magnetron sputtering and the methods of analysis on the layers is introduced …více
Abstract:
Táto bakalárska práca sa venuje štúdiu magnetrónového naprašovania budeného pulzmi veľkého výkonu v porovnaní s procesom jednosmerného magnetrónového naprašovania. Objektom skúmania tejto práce sú deponované tenké nanokompozitné vrstvy typu TiC/C. Prvá kapitola predstavuje teoretické základy fyzikálneho princípu magnetrónového naprašovania a metód analýzy vrstiev. Experimentálna časť popisuje výber …více
 
 
Jazyk práce: slovenština
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 21. 5. 2015

Obhajoba závěrečné práce

  • Obhajoba proběhla 23. 6. 2015
  • Vedoucí: prof. Mgr. Petr Vašina, Ph.D.

Citační záznam

Plný text práce

Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:
  • světu
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta

Masarykova univerzita

Přírodovědecká fakulta

Bakalářský studijní program / obor:
Aplikovaná fyzika / Nanotechnologie - aplikovaná fyzika