Studium vlivu iontového svazku na krystalizaci tenké vrstvy PZT – Ing. David Vápenka
Ing. David Vápenka
Doctoral thesis
Studium vlivu iontového svazku na krystalizaci tenké vrstvy PZT
Study of the ion beam induced crystallization of the PZT thin film
Anotácia:
Předkládaná disertační práce se zabývá studiem vlivu rozbíhavého iontového svazku na krystalickou strukturu nanášené tenké vrstvy zirkoničitanu-titaničitanu olovnatého (angl. Lead Zirconate titanate -- PZT). Iontový svazek je v našem případě produkován běžně komerčně používaným iontovým zdrojem Kaufmannova typu, určeným k čištění a modifikaci vlastností substrátu a rostoucí tenké vrstvy. V práci je …viacAbstract:
This dissertation deals with the study of the effect of the divergent ion beam on the crystal structure of the PZT thin film. In our case, the ion beam is produced by a commercially available Kaufmann-type ion source designed for cleaning and modifying the properties of the substrate surface and the growing thin film. The thesis describes the theoretical background of deposition and characterization …viac
Jazyk práce: Czech
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 14. 3. 2019
Obhajoba závěrečné práce
- Obhajoba proběhla 2. 7. 2019
- Vedúci: prof. Ing. Pavel Mokrý, Ph.D.
Citační záznam
Citace dle ISO 690:
VÁPENKA, David. \textit{Studium vlivu iontového svazku na krystalizaci tenké vrstvy PZT}. Online. Dizertačná práca. Liberec: Technická univerzita v Liberci, Faculty of Mechatronics, Informatics and Interdisciplinary Studies. 2019. Dostupné z: https://theses.cz/id/7oa6ci/.
Jak správně citovat práci
Vápenka, David. Studium vlivu iontového svazku na krystalizaci tenké vrstvy PZT. Liberec, 2019. disertační práce (Ph.D.). Technická univerzita v Liberci. Fakulta mechatroniky, informatiky a mezioborových studií
Plný text práce
Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:- světu
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: Technická univerzita v Liberci, Fakulta mechatroniky, informatiky a mezioborových studiíTechnical University of Liberec
Faculty of Mechatronics, Informatics and Interdisciplinary StudiesDoctoral programme / odbor:
Applied Science in Technology / Applied Science in Technology
Práce na příbuzné téma
-
Vývoj mikrofluidního čipu pro modelování fosfolipidových membrán
Kateřina Haluzová
Názov
Vložil
Vložené
Práva