Využití polymerních rezistů pro přípravu mikro a nanostruktur pomocí elektronové litografie – Jaroslav Navrátil
Jaroslav Navrátil
Bachelor's thesis
Využití polymerních rezistů pro přípravu mikro a nanostruktur pomocí elektronové litografie
Application of Polymers for Electron Beam Lithography
Abstract:
Tato práce se zaměřuje na techniku elektronové litografie a přípravu struktur v polymerním rezistu PMMA pomocí expozice elektronovým svazkem. Pozornost je věnována procesu vyvolávání rezistu a vyhodnocení struktur pomocí optického mikroskopu, mechanického profilemetru a mikroskopu atomárních sil (AFM).Abstract:
This bachelor thesis is focusing on the technique of electron-beam lithography and preparation of structures in polymer resist PMMA using electron beam exposure. Attention is paid to the process of resist development and evaluation of structures using an optical microscope, a mechanical profilometer and an atomic force microscope (AFM).
Language used: Czech
Date on which the thesis was submitted / produced: 20. 5. 2020
Thesis defence
Citation record
ISO 690-compliant citation record:
NAVRÁTIL, Jaroslav. \textit{Využití polymerních rezistů pro přípravu mikro a nanostruktur pomocí elektronové litografie}. Online. Bachelor's thesis. Zlín: Tomas Bata University in Zlín, Faculty of Technology. 2020. Available from: https://theses.cz/id/85ihz0/.
The right form of listing the thesis as a source quoted
Navrátil, Jaroslav. Využití polymerních rezistů pro přípravu mikro a nanostruktur pomocí elektronové litografie. Zlín, 2020. bakalářská práce (Bc.). Univerzita Tomáše Bati ve Zlíně. Fakulta technologická
Full text of thesis
Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:- autentizovaným zaměstnancům ze stejné školy/fakulty
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: Univerzita Tomáše Bati ve Zlíně, Fakulta technologickáPlny text prace je k dispozici v elektronicke podobe
Tomas Bata University in Zlín
Faculty of TechnologyBachelor programme / field:
Chemistry and Materials Technology / Materials Engineering
Theses on a related topic
-
Polymerní rezisty pro zápis elektronovým svazkem
Jaroslav Navrátil -
Studium rozbalování proteinů s použitím AFM
Barbora Javorská -
Nanoscale imaging with atomic force microscopy (AFM)
Veronika Horáčková -
Zobrazování fágových částic pomocí AFM mikroskopie
Simona Zahrádková -
Studium imunointerakcí pomocí AFM
Patrik Gereg -
Biomechanika srdečních buněk, AFM studie
Barbora Veselá -
Studium biomechaniky buněk s použitím AFM nanoindentace
Zuzana Bertová -
Vývoj měřící komory pro měření pomocí AFM
Patrik Biener