Diagnostické metody pro určení prahu perkolace ultratenkých vrstev wolframu

Ing. Tomáš MARTÍNEK, Ph.D.

Disertační práce

Anotace:

Práce je zaměřena na určení perkolačního prahu ultratenkých vrstev wolframu připravených pomocí radiofrekvenčního magnetronového naprašování. Charakterizace v nanometrové oblasti byla provedena pomocí mikroskopických technik. Dále bylo provedeno měření stejnosměrné elektrické povrchové vodivosti, dielektrické konstanty pomocí THz spektroskopie v časové doméně, optické propustnosti, optických spekter pomocí UV/VIS spektrofotometrie a luminiscenčních spekter. Z výsledků těchto měření byl určen elektrický perkolační práh na hodnotě (1,79 ? 0,28) nm.

Abstract:

Main goal of this work is to determine percolation threshold of ultra-thin tungsten films deposited by radio-frequency magnetron sputtering. Nanoscale characterization of these films was done by microscopic techniques. Electrical DC surface conductivity, dielectric constant using THz-TDS, optical transmittance, UV/VIS spectrophotometry and luminescence spectra were measured. Electrical percolation threshold of these films was calculated from results of these measurements at (1.79 ? 0.28) nm.

Klíčová slova

perkolační práh, ultratenké vrstvy, povrchová rezistance, luminiscence

Jazyk práce: čeština

Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 18. 6. 2019

Obhajoba závěrečné práce

• Obhajoba proběhla 9. 9. 2019

Univerzita Tomáše Bati ve Zlíně

Fakulta aplikované informatiky

Doktorský studijní program / obor:
Inženýrská informatika / Inženýrská informatika