Pulzní reaktivní magnetronové naprašování tenkých vrstev obsahujících měď a stanovení jejich fyzikálních a mechanických vlastností – Ing. Jakub BLAŽEK
Ing. Jakub BLAŽEK
Doctoral thesis
Pulzní reaktivní magnetronové naprašování tenkých vrstev obsahujících měď a stanovení jejich fyzikálních a mechanických vlastností
Pulsed reactive magnetron sputtering of thin films containing copper and characterization of their physical and mechanical properties
Abstract:
At present the incorporation of additional element into a binary material system represents an efficient way to enhance physical and functional properties of thin films in various applications. This Ph.D. thesis investigates the effect of Cu content and other process parameters on structure, physical, mechanical and antibacterial properties of thin films prepared by pulsed reactive magnetron sputtering …moreAbstract:
Přidávání dalšího prvku do materiálů na bázi binárních sloučenin představuje v současnosti jeden z možných způsobů, jakými lze docílit zlepšení fyzikálních, mechanických a funkčních vlastností tenkovrstevných materiálů v různých aplikacích. Tato disertační práce se zabývá vyšetřováním vlivu různých procesních parametrů zejména pak přidáváním mědi na strukturu, fyzikální, mechanické a antibakteriální …moreAbstract:
makropnutím ve vrstvě, jehož hodnota může být regulována velikostí celkového tlaku při depozici. Takovéto multifunkční nanokompozitní vrstvy na bázi Al-Cu-N mohou být připraveny vysokou depoziční rychlosti (aD=63.5 nm/min).
Language used: English
Date on which the thesis was submitted / produced: 8. 11. 2013
Accessible from:: 31. 12. 2999
Thesis defence
Citation record
ISO 690-compliant citation record:
BLAŽEK, Jakub. \textit{Pulzní reaktivní magnetronové naprašování tenkých vrstev obsahujících měď a stanovení jejich fyzikálních a mechanických vlastností}. Online. Doctoral theses, Dissertations. Plzeň: University of West Bohemia, Faculty of Applied Sciences. 2013. Available from: https://theses.cz/id/8u7tc9/.
The right form of listing the thesis as a source quoted
BLAŽEK, Jakub. Pulzní reaktivní magnetronové naprašování tenkých vrstev obsahujících měď a stanovení jejich fyzikálních a mechanických vlastností. Plzeň, 2013. disertační práce (Ph.D.). ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI. Fakulta aplikovaných věd
Full text of thesis
Accessibility: Autor si nepřeje zpřístupnění práce veřejnosti
Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:- Soubory jsou nedostupné.
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI, Fakulta aplikovaných vědVázaný výtisk práce naleznete v Univerzitní knihovně ZČU, více na http://www.knihovna.zcu.cz/kvalifikacni-prace/
University of West Bohemia
Faculty of Applied SciencesDoctoral programme / field:
Applied Sciences and Computer Engineering / Plasma Physics and Physics of Thin Films
Theses on a related topic
-
Pulzní reaktivní magnetronové naprašování termochromických povlaků na bázi VO2
Pavel ČURDA -
Monte Carlo simulace napouštění reaktivního plynu pro reaktivní magnetronové naprašování vrstev
Michal ŠULA -
Výsokovýkonové pulzní reaktivní magnetronové naprašování oxidových a oxynitridových vrstev
Alexandr BELOSLUDTSEV -
Reaktivní magnetronové naprašování Zn-Sn-O vrstev a charakterizace jejich vlastností
Zuzana ČIPEROVÁ -
Reaktivní magnetronové naprašování tenkých vrstev s unikálními vlastnostmi
Sergei ZENKIN -
Globální modely plazmatu v reaktivním magnetronovém naprašování v argonu, dusíku a acetylenu
Kristína Tomanková -
Reaktivní magnetronové naprašování vrstev Ti-Ni-N
Zuzana ČIPEROVÁ -
Reaktivní magnetronové naprašování AlOx/AlN kompozitních vrstev a vyšetření jejich vlastností
Roman SPLÍTEK