Vliv difúze na PECVD funkčních vrstev – Ing. Lenka Volfová, Ph.D.
Ing. Lenka Volfová, Ph.D.
Disertační práce
Vliv difúze na PECVD funkčních vrstev
Influence of Diffusion on PECVD of Functional Layers
Anotace:
Předkládaná disertační práce je zaměřena na problematiku nanášení funkčních tenkých vrstev metodou PECVD na porézní substráty. Zásadní vliv na homogenitu vrstev nanášených na tvarově složité substráty má difúze aktivních částic vznikajících během plazmatického procesu. Jedním z cílů této práce bylo studium penetrace těchto částic do prostor, které jsou různými způsoby stíněny přímému působení plazmatu …víceAbstract:
This thesis deals with thin layers deposition on porous substrates by the PECVD method. Active particles diffusion is one of the most significant factors influencing the homogeneity of thin layers created on spatially complicated substrates during plasmatic process. One of the main purposes of this thesis was the research of the particles' penetration into the spaces shielded from the direct exposure …více
Jazyk práce: čeština
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 28. 1. 2016
Obhajoba závěrečné práce
- Obhajoba proběhla 22. 6. 2016
- Vedoucí: prof. RNDr. Petr Špatenka, CSc.
Citační záznam
Jak správně citovat práci
Volfová, Lenka. Vliv difúze na PECVD funkčních vrstev. Liberec, 2016. disertační práce (Ph.D.). Technická univerzita v Liberci. Fakulta strojní
Plný text práce
Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:- světu
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: Technická univerzita v Liberci, Fakulta strojníVázaný výtisk práce je dostupný v knihovne: UKN
Technická univerzita v Liberci
Fakulta strojníDoktorský studijní program / obor:
Strojní inženýrství / Materiálové inženýrství
Práce na příbuzné téma
-
Vývoj technologie plazmochemické depozice z plynné fáze pro zlepšení užitných vlastností polymerních tenkých vrstev
Roman Přibyl -
Objemová syntéza uhlíkových nanotrubek a železných nanočástic metodou plazmochemické depozice z plynné fáze (PECVD)
Petr Synek -
Plazmochemická depozice vrstev z plynné fáze
Luboš Žák -
Plazmochemická depozice vrstev z plynné fáze s využitím směsí TVS/Ar a TVS/O2
Jakub Sadílek -
Plazmochemická depozice diamantových vrstev v duálním mikrovlnném/vysokofrekvečním výboji
Jiří Šperka -
Plazmochemická depozice nanostrukturovaných diamantupodobných tenkých vrstev
Tomáš Novotný -
Plazmochemická depozice organosilikonových tenkých vrstev
Václav Pekař -
Objemová syntéza uhlíkových nanotrubek a železných nanočástic metodou plazmochemické depozice z plynné fáze (PECVD)
Petr Synek
Název
Vložil
Vloženo
Práva