Studium termální stability DLC vrstev

Mgr. Tomáš Gardelka

Bakalářská práce

Study of thermal stability of DLC thin films

Anotace:

Cílem této práce je studovat termální stabilitu diamantu-podobných uhlíkových vrstev. Ke studiu bylo použito 8 vrstev připravených metodou PECVD. Vrstvy byly umístěné ve vakuové aparatuře a podstupovaly řízené žíhání uvnitř elektrické laboratorní pece. Díky dosažení vysokého vakua v aparatuře bylo možné pomocí kvadrupólového hmotnostního spektrometru sledovat okamžitý vývoj desorpce různých hmot ze vzorku. Fyzikální principy dějů odehrávajících se v průběhu experimentu a metody použité při zpracování dat jsou popsané v první, teoretické části. Další část se zabývá výsledky samotného experimentu, které ukazují, že termální stabilita silně závisí na konkrétních depozičních podmínkách.

Abstract:

The goal of this work is to study thermal stability of diamond-like carbon films. 8 different films were prepared using PECVD method in order to study dependence of thermal stability of these films on used deposition conditions. Films were placed in the vacuum chamber and underwent controlled annealing inside of an electric laboratory furnace. Thanks to the high vacuum inside of the apparatus we could use quadrupole mass spectrometer to detect instantaneous evolution of desorbed particles from the film. In first, theoretical part we described physical principles of processes, which took place during the experiment and also we studied methods used to process the data. Second part is focused on the results of the experiment itself and shows that the thermal stability is strongly dependent on the concrete deposition conditions.

Klíčová slova

tenká vrstva, DLC, termální desorpční spektroskopie, TDS, TPD, thin film, diamond-like carbon, thermal desorption spectroscopy

Jazyk práce: čeština

Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 20. 5. 2010

Obhajoba závěrečné práce

• Obhajoba proběhla 29. 6. 2010
• Vedoucí: doc. RNDr. Vilma Buršíková, Ph.D.

Masarykova univerzita

Přírodovědecká fakulta

Bakalářský studijní program / obor:
Fyzika / Fyzika