Implementace vypařovacího systému pro depozice tenkých vrstev – David CIFREUND
David CIFREUND
Bakalářská práce
Implementace vypařovacího systému pro depozice tenkých vrstev
Anotace:
Bakalářská práce je zaměřena na dávkovací systém pro PECVD procesy v prostředí nízkoteplotního plazmatu. Klíčem úspěšných depozic je přesný a stabilní průtok prekurzoru do reaktoru, kde probíhají výboje různého druhu, využívané pro depozici tenkých vrstev. V případě, že je příměsí prekurzoru kapalina, je potřeba ji smíchat s nosným plynem a výslednou směs převést kompletně do plynné fáze. Pro tyto …víceAbstract:
This thesis focuses on gas dispensing for PECVD proceses in low temperature plasma. Key to succesful depositions is an accurate and stable flow rate of precursor to reactor, where discharges are used for depositions of thin films. Liquid can be also an admixture of the precursor, but it has to be mixed with the carrier gas and finaly evaporated. For this purpose was chosen CEM evaporating system from …více
Jazyk práce: čeština
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 19. 4. 2017
Obhajoba závěrečné práce
- Vedoucí: doc. RNDr. Vítězslav Straňák, Ph.D.
Citační záznam
Citace dle ISO 690:
CIFREUND, David. \textit{Implementace vypařovacího systému pro depozice tenkých vrstev}. Online. Bakalářská práce. České Budějovice: Jihočeská univerzita v Českých Budějovicích, Přírodovědecká fakulta. 2017. Dostupné z: https://theses.cz/id/95ddeh/.
Jak správně citovat práci
CIFREUND, David. Implementace vypařovacího systému pro depozice tenkých vrstev. Č. Budějovice, 2017. bakalářská práce (Bc.). JIHOČESKÁ UNIVERZITA V ČESKÝCH BUDĚJOVICÍCH. Přírodovědecká fakulta
Plný text práce
Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:- světu
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: JIHOČESKÁ UNIVERZITA V ČESKÝCH BUDĚJOVICÍCH, Přírodovědecká fakultaJIHOČESKÁ UNIVERZITA V ČESKÝCH BUDĚJOVICÍCH
Přírodovědecká fakultaBakalářský studijní program / obor:
Elektrotechnika a informatika / Měřicí a výpočetní technika
Práce na příbuzné téma
- Žádné práce na příbuzné téma.
Název
Vložil
Vloženo
Práva