Příprava sol-gel vrstev oxidů kovů v optické kvalitě

Bc. Tomáš Thoř

Master's thesis

Metal-oxides sol-gel layers prepared in optical quality

Anotácia:

Diplomová práce se zabývá přípravou tenkých vrstev metodou sol-gel. Předmětem zkoumání jsou vrstvy materiálů SiO2, TiO2, Al2O3, Fe2O3, SnO2 a ZrO2. V teoretické části práce jsou popsány principy přípravy sol-gel vrstev, včetně konkrétních postupů přípravy vrstev zkoumaných materiálů, které byly publikovány v literatuře. V experi-mentální části práce jsou připravovány vrstvy zkoumaných materiálů, přičemž sledována je jejich kvalita a v případě vrstev SiO2 a TiO2 rovněž přesnost jejich tloušťky.

Abstract:

The diploma thesis deals with preparation of thin films via the sol-gel method. Specifically, thin films of SiO2, TiO2, Al2O3, Fe2O3, SnO2 and ZrO2 are investigated. Theoretical part of this work describes the principles of sol-gel coatings preparation, including specific processes for preparing films of materials studied in this work, which were published in literature. In experimental part of this paper, thin films of investigated materials were prepared. Quality of thin films was studied. For SiO2 and TiO2 thin films also thickness precision was studied.

Kľúčové slová

metoda sol-gel, tenké vrstvy, dip-coating

Jazyk práce: Czech

Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 16. 5. 2016

Obhajoba závěrečné práce

• Obhajoba proběhla 15. 6. 2016
• Vedúci: Ing. Jan Václavík

Technical University of Liberec

Faculty of Mechatronics, Informatics and Interdisciplinary Studies

Master programme / odbor:
Nanotechnology / Nanomaterials