Studium chování hybridního PVD-PECVD procesu – Bc. Tereza Schmidtová
Bc. Tereza Schmidtová
Master's thesis
Studium chování hybridního PVD-PECVD procesu
Behaviour of hybrid PVD-PECVD process
Abstract:
Tato práce je věnována studiu reaktivního magnetronového naprašování pomocí experimentálních diagnostických metod a také pomocí teoretického modelování. Popsány jsou fyzikální principy rozprašování a základní metody diagnostiky. Za účelem pochopení nehomogenity rozprašování a transportu rozprášených částic na substrát byla provedena měření pomocí LIF. Je prezentován vylepšený numerický model vycházející …moreAbstract:
This work is dedicated to the study of reactive magnetron sputtering by experimental diagnostic methods and also by theoretical modelling. Physical principles of sputtering and basic diagnostic methods are presented. Experimental study by LIF was conducted to understand the non-uniformity of the sputtering and the transport of sputtered metal atoms towards a substrate. An improved numerical model based …more
Language used: English
Date on which the thesis was submitted / produced: 15. 5. 2009
Identifier:
https://is.muni.cz/th/bezhf/
Thesis defence
- Date of defence: 11. 6. 2009
- Supervisor: prof. Mgr. Petr Vašina, Ph.D.
Full text of thesis
Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:- světu
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakultaMasaryk University
Faculty of ScienceMaster programme / field:
Physics / Plasma Physics
Theses on a related topic
-
Pulzní reaktivní magnetronové naprašování termochromických povlaků na bázi VO2
Pavel ČURDA -
Monte Carlo simulace napouštění reaktivního plynu pro reaktivní magnetronové naprašování vrstev
Michal ŠULA -
Výsokovýkonové pulzní reaktivní magnetronové naprašování oxidových a oxynitridových vrstev
Alexandr BELOSLUDTSEV -
Reaktivní magnetronové naprašování Zn-Sn-O vrstev a charakterizace jejich vlastností
Zuzana ČIPEROVÁ -
Reaktivní magnetronové naprašování tenkých vrstev s unikálními vlastnostmi
Sergei ZENKIN -
Globální modely plazmatu v reaktivním magnetronovém naprašování v argonu, dusíku a acetylenu
Kristína Tomanková -
Reaktivní magnetronové naprašování vrstev Ti-Ni-N
Zuzana ČIPEROVÁ -
Reaktivní magnetronové naprašování AlOx/AlN kompozitních vrstev a vyšetření jejich vlastností
Roman SPLÍTEK