Plazmové leptání plazmových polymerů cyklopropylaminu využitých pro biosenzory

Bc. Jan Daňhel

Bachelor's thesis

Plasma etching of cyclopropylamine plasma polymers used in biosensors

Anotácia:

V této bakalářské práci se věnujeme depozici cyklopropylaminových vrstev a jejich následnému leptání v kyslíkovém plazmatu. Vrstvy byly nadeponovány na křemenných mikrováhách (QCM). Sledovalo se, jak se po jednotlivých úpravách povrchu mění hmotnost vrstvy. Hmotnost byla zjištěna tak, že se změřila změna frekvence QCM pomocí čítače frekvencí. Byly srovnány dva čítače a zjištěno, co ovlivňuje samotné měření.

Abstract:

In this thesis we study the deposition of cyklopropylamine layers and their etching with oxygen plasma. Layers were deposited at quartz crystal microbalance (QCM). It was observed that the weight of the layers changed after individual procedures. Weight was obtained via measurement of changed frequencies QCM using frequency counter. Two frequency counters were compared and it was find out what affects measurement itself.

Kľúčové slová

plazma, leptání, polymerizace, cyklopropylamin, čítač frekvencí, plasma, etching, polymerization, cyklopropylamine, frequency counter

Jazyk práce: Czech

Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 19. 5. 2016

Obhajoba závěrečné práce

• Obhajoba proběhla 20. 6. 2016
• Vedúci: doc. Mgr. Lenka Zajíčková, Ph.D.

Masaryk University

Faculty of Science

Bachelor programme / odbor:
Physics / Physics