Zpětnovazební řízení reaktivního magnetronového naprašování zařízením Speedflo – Bc. Peter Klein, Ph.D.
Bc. Peter Klein, Ph.D.
Master's thesis
Zpětnovazební řízení reaktivního magnetronového naprašování zařízením Speedflo
Feedback system to control reactive magnetron sputtering
Abstract:
This work is dedicated to the study of control and theoretical modeling of reactive magnetron sputtering process. Physical properties of magnetron sputtering and hysteresis behavior by inlet of reactive gas are described. Commercially used device Speedflo, which is able to feedback control this process, is presented and tested in detail. The abilities to control process of reactive magnetron sputtering …viacAbstract:
Táto práca je venovaná štúdiu riadenia a teoretického modelovania procesu reaktívneho magnetrónového naprašovania. Opísané sú tu fyzikálne princípy samotného magnetrónového naprašovania ako aj hysterézne správanie pri pripustení reaktívneho plynu. Je tu prezentované a podrobne otestované komerčne používané zariadenie Speedflo, ktoré umožňuje spätnoväzobné riadenie takéhoto procesu. Pri rôzne definovaných …viac
Jazyk práce: Slovak
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 14. 5. 2012
Identifikátor:
https://is.muni.cz/th/eksub/
Obhajoba závěrečné práce
- Obhajoba proběhla 12. 6. 2012
- Vedúci: prof. Mgr. Petr Vašina, Ph.D.
Citační záznam
Plný text práce
Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:- světu
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakultaMasaryk University
Faculty of ScienceMaster programme / odbor:
Physics / Plasma Physics