Depozice funkčních tenkovrstvých materiálů pomocí pokročilých naprašovacích technik – Ing. Šárka BATKOVÁ
Ing. Šárka BATKOVÁ
Doctoral thesis
Depozice funkčních tenkovrstvých materiálů pomocí pokročilých naprašovacích technik
Deposition of functional thin-film materials by advanced sputtering techniques
Abstract:
Materials from the Ta-O-N system offer very promising properties in terms of hydrogen production via light-induced water splitting. This Ph.D. thesis deals with the preparation and systematic investigation of Ta-O-N films with very finely-tuned elemental composition. Because it should be possible to even further enhance the water splitting performance in future research by tuning of the material structure …viacAbstract:
Materiály ze systému Ta-O-N nabízejí velice slibné vlastnosti pro produkci vodíku rozkladem vody aktivovaným světlem. Tato disertační práce se zabývá přípravou a systematickým výzkumem vrstev Ta-O-N s velmi jemně laděným prvkovým složením. Protože by mělo být možné ještě dále vylepšit funkčnost materiálu vylepšením jeho struktury a přidáním nanočástic, byly dále zkoumány i pokročilé magnetronové depoziční …viac
Jazyk práce: English
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 15. 11. 2021
Zverejniť od: 31. 12. 2999
Obhajoba závěrečné práce
- Vedúci: Doc. Ing. Jiří Čapek, Ph.D.
Citační záznam
Citace dle ISO 690:
BATKOVÁ, Šárka. \textit{Depozice funkčních tenkovrstvých materiálů pomocí pokročilých naprašovacích technik}. Online. Dizertačná práca. Plzeň: Západočeská univerzita v Plzni, Faculty of Applied Sciences. 2021. Dostupné z: https://theses.cz/id/ar79gr/.
Jak správně citovat práci
BATKOVÁ, Šárka. Depozice funkčních tenkovrstvých materiálů pomocí pokročilých naprašovacích technik. Plzeň, 2021. disertační práce (Ph.D.). ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI. Fakulta aplikovaných věd
Plný text práce
Právo: Autor si nepřeje zpřístupnění práce veřejnosti
Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:- Soubory jsou nedostupné.
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI, Fakulta aplikovaných vědVázaný výtisk práce naleznete v Univerzitní knihovně ZČU, více na http://www.knihovna.zcu.cz/kvalifikacni-prace/
University of West Bohemia
Faculty of Applied SciencesDoctoral programme / odbor:
Applied Sciences and Computer Engineering / Plasma Physics and Physics of Thin Films
Práce na příbuzné téma
-
Výsokovýkonové pulzní reaktivní magnetronové naprašování oxidových a oxynitridových vrstev
Alexandr BELOSLUDTSEV -
Počítačové modelování napouštění reaktivního plynu pro vysokovýkonové pulzní magnetronové naprašování oxidů kovů
Milada KREJČOVÁ -
Nestacionární model pro vysokovýkonové pulzní magnetronové rozprašování kovů
Milada KREJČOVÁ -
Vysokovýkonová pulzní reaktivní magnetronová depozice vrstev VO2 na skle
Michal TICHÝ -
Vysokovýkonová pulzní magnetronová depozice vrstev
Branislav ZUŠTIN -
Vysokovýkonová pulzní reaktivní magnetronová depozice vrstev oxidů a oxynitridů tantalu a zirkonia
Jiří REZEK -
Nízkoteplotní depozice vysoce funkčních termochromických povlaků na bázi VO2 použitím pulzního reaktivního magnetronového naprašování
David KOLENATÝ -
Parametrické modelování pulzního vysokovýkonového magnetronového výboje pro depozici vrstev
Tereza LERCHOVÁ