Vývoj metod pro měření topografie povrchu se subnanometrovou přesností – Bc. Karolína Sedláčková
Bc. Karolína Sedláčková
Diplomová práce
Vývoj metod pro měření topografie povrchu se subnanometrovou přesností
Development of methods for surface topography measurement with sub-nanometer accuracy
Abstract:
The aim of the thesis was to create a simulation tool inspecting the influence of vibration to evaluation signal obtained from white-light interferometry. The theoretical part is dedicated to introducing the properties of different illumination sources and describing optical methods for examining surface topography. The knowledge gained while working with the simulation tool was applied to the development …víceAbstract:
Cílem práce bylo vyvinout simulační software, který zkoumá vliv vibrací na signál získaný z white-light interferometrie a aplikovat získané dovednosti ve vývoji vývoji nanopozičního měřícího zařízení pracujícího na výše zmíněném principu. Teoretická část je věnována popisu vlastností světla a popisu optických metod pro zkoumání topografie povrchu. Díky popsaným principům bylo možné zlepšit měřící zařízení …více
Jazyk práce: angličtina
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 17. 5. 2021
Obhajoba závěrečné práce
- Vedoucí: Ing. Pavel Psota, Ph.D.
Citační záznam
Citace dle ISO 690:
SEDLÁČKOVÁ, Karolína. \textit{Vývoj metod pro měření topografie povrchu se subnanometrovou přesností}. Online. Diplomová práce. Liberec: Technická univerzita v Liberci, Fakulta mechatroniky, informatiky a mezioborových studií. 2021. Dostupné z: https://theses.cz/id/bb4m2s/.
Jak správně citovat práci
Sedláčková, Karolína. Vývoj metod pro měření topografie povrchu se subnanometrovou přesností. Liberec, 2021. diplomová práce (Ing.). Technická univerzita v Liberci. Fakulta mechatroniky, informatiky a mezioborových studií
Plný text práce
Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:- světu
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: Technická univerzita v Liberci, Fakulta mechatroniky, informatiky a mezioborových studiíTechnická univerzita v Liberci
Fakulta mechatroniky, informatiky a mezioborových studiíMagisterský studijní program / obor:
Aplikované vědy v inženýrství / Aplikované vědy v inženýrství
Práce na příbuzné téma
Název
Vložil
Vloženo
Práva