Vývoj metod pro měření topografie povrchu se subnanometrovou přesností

Bc. Karolína Sedláčková

Diplomová práce

Development of methods for surface topography measurement with sub-nanometer accuracy

Abstract:

The aim of the thesis was to create a simulation tool inspecting the influence of vibration to evaluation signal obtained from white-light interferometry. The theoretical part is dedicated to introducing the properties of different illumination sources and describing optical methods for examining surface topography. The knowledge gained while working with the simulation tool was applied to the development of a nanopositioning measuring machine based on the white-light interferometry. The applied approaches led to improving the machine and increasing its competitiveness.

Abstract:

Cílem práce bylo vyvinout simulační software, který zkoumá vliv vibrací na signál získaný z white-light interferometrie a aplikovat získané dovednosti ve vývoji vývoji nanopozičního měřícího zařízení pracujícího na výše zmíněném principu. Teoretická část je věnována popisu vlastností světla a popisu optických metod pro zkoumání topografie povrchu. Díky popsaným principům bylo možné zlepšit měřící zařízení a zvýšit jeho konkurenceschopnost.

Keywords

topografie, měření topografie povrchu, white-light interferometrie, vibrace

Jazyk práce: angličtina

Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 17. 5. 2021

Obhajoba závěrečné práce

• Vedoucí: Ing. Pavel Psota, Ph.D.

Technická univerzita v Liberci

Fakulta mechatroniky, informatiky a mezioborových studií

Magisterský studijní program / obor:
Aplikované vědy v inženýrství / Aplikované vědy v inženýrství