Studium pulsně buzeného mikrovlnného plazmatu

Bc. Jaroslav Hnilica, Ph.D.

Diplomová práce

Diagnostics of pulsed microwave plasma

Anotace:

Tato práce se věnuje diagnostice plazmatu buzeného impulsním mikrovlnným výkonem (100kW ve 2,25 µs pulzu) ve třech plynech. Byla provedena emisní spektroskopie s vysokým časovým rozlišením ve velmi krátkém čase pomocí spektrometru vybaveného intenzifikovaným CCD. Práce se zaměřila hlavně na výboje v dusíku a neonu, protože pro ně existují teoretické modely. Pro všechny tři byla naměřena jejich časová závislost intenzity. Pro dusík byla spočítána rotační a vibrační teplota. Naměřená data v neonovém výboji byla pak srovnána se srážkově-radiačním modelem pro výboj v neonu.

Abstract:

The thesis focuses on the diagnosis of plasma aroused by microwave power (100 kW in 2,25 µs pulse) in three gasses. An emission spectroscopy with high time resolution was carried out in a very short time period using a spectrometer equipped with intensified CCD. The thesis is dealt mainly with discharges in nitrogen and neon, because theoretical models have already existed in these cases. Time dependence of intensity was measured in all three of them. Rotational and vibrational temperature was measured in nitrogen. The data measured in neon discharge were consequently compared to the collision-radiation model for the neon discharge.

Klíčová slova

časově rozlišená optická emisní spektroskopie, mikrovlnný výboj, pulsní plasma, dusík, neon, srážkově-radiační model time resolved optical emission spectroscopy, microwave discharge, pulsed plasma, nitrogen, collisional-radiative model

Jazyk práce: čeština

Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 18. 5. 2009

Obhajoba závěrečné práce

• Obhajoba proběhla 11. 6. 2009
• Vedoucí: prof. Mgr. Vít Kudrle, Ph.D.

Masarykova univerzita

Přírodovědecká fakulta

Magisterský studijní program / obor:
Fyzika / Fyzika plazmatu