Bc. Jiří Jančálek

Bakalářská práce

Strukturování tenkých vrstev chalkogenidových skel systému As-S pomocí litografických procesů

Structuring of As-S chalcogenide glass thin films by lithography techniques
Anotace:
Tato bakalářská práce se zabývá studiem fyzikálně ? chemických vlastností a možností strukturování povrchu tenkých vrstev chalkogenidového skla o složení As35S65 . Studovány byly optické vlastnosti, chemická odolnost, struktura tenkých vrstev a jejich termo- a fotoindukované změny. Ke studiu strukturování povrchu bylo použito optické a elektronové litografie.
Abstract:
This bachelor thesis deals with a study of physical and chemical properties and structuring possibilities of As35S65 thin chalcogenide films. Optical properties, chemical resistance, structure as well as their thermo- and photoinduced changes had been studied. Photolithography and electron beam lithography were used for study of structuring possibilities.
 

Klíčová slova

chalkogenidová skla tenké vrstvy optická litografie elektronová litografie
 
Jazyk práce: čeština
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 11. 7. 2016

Obhajoba závěrečné práce

  • Obhajoba proběhla 22. 8. 2016
  • Vedoucí: Ing. Karel Pálka, Ph.D.

Citační záznam

Citovat tuto práci
Jak správně citovat práci

Jančálek, Jiří. Strukturování tenkých vrstev chalkogenidových skel systému As-S pomocí litografických procesů. Pardubice, 2016. bakalářská práce (Bc.). Univerzita Pardubice. Fakulta chemicko-technologická

Plný text práce

Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:
  • Soubory jsou nedostupné.
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: Univerzita Pardubice, Fakulta chemicko-technologická
https://portal.upce.cz/StagPortletsJSR168/CleanUrl?urlid=prohlizeni-prace-detail&praceIdno=30635 Odkaz na soubor do lokálního úložiště instituce