Bc. Miroslava KOZLOVÁ

Master's thesis

Sondová diagnostika nízkoteplotního plazmatu při depozičním procesu

Abstract:
Tato magisterská práce se věnuje zjišťování parametrů nízkoteplotního plazmatu využívaného při depozici tenké vrstvy ITO pomocí sondové diagnostiky. Práce je rozdělena na část teoretickou, ve které jsou vysvětleny základní parametry nízkoteplotního plazmatu, princip sondové diagnostiky a teorie užívané pro její vyhodnocování, a část praktickou, kde jsou zpracovány výsledky provedeného měření v závislosti …more
Abstract:
This master thesis deals with examination of the parameters of low temperature plasma which is used for the deposition of thin layer of ITO. The method which is used in this thesis is the probe diagnostics. This thesis is divided into two parts. The first is the theoretical part, in which the basic parameters of low temperature plasma, principles of the probe diagnostics, and theories for this method …more
 

Keywords

sondová diagnostika fyzika plazmatu depozice tenkých vrstev
 
Language used: Czech
Date on which the thesis was submitted / produced: 12. 12. 2017

Thesis defence

  • Supervisor: Mgr. Martin Čada, Ph.D.

Citation record

Cite this text
The right form of listing the thesis as a source quoted

KOZLOVÁ, Miroslava. Sondová diagnostika nízkoteplotního plazmatu při depozičním procesu. Č. Budějovice, 2017. diplomová práce (Mgr.). JIHOČESKÁ UNIVERZITA V ČESKÝCH BUDĚJOVICÍCH. Přírodovědecká fakulta

Full text of thesis

Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:
  • světu
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: JIHOČESKÁ UNIVERZITA V ČESKÝCH BUDĚJOVICÍCH, Přírodovědecká fakulta
http://wstag.jcu.cz/StagPortletsJSR168/CleanUrl?urlid=prohlizeni-prace-detail&praceIdno=44646 Reference to the local database file of the institution
 
Name
Posted by
Uploaded/Created
Rights
Theses d33k3p d33k3p/2
12/12/2017
Folders
Files
thesis Diplomov_prce_-__M.Kozlov.pdf
Bulánová, L.
13/12/2017

  • Co je jinak přidání souboru

    Soubor nebo složku lze nahrát pomocí tlačítka Přidat.

  • Co je jinak další operace se soubory

    Podrobnosti lze zjistit označením příslušného řádku.

  • Co je jinak pohled pro experty

    Pro častou práci je možné zvolit režim Více možností.

  • Co je nové vyhledávání souborů

    Vyhledávaný výraz můžete zadat přímo do adresního řádku.

  • Co je nové rychlý přístup k souborům

    Pomocí funkce Nedávné je možné se rychle vrátit k právě prohlíženým souborům. Oblíbené soubory je také možné označit Hvězdičkou.

  • Co se chystá

    Připravujeme další vylepšení pro mobilní zařízení.