Zpět na vyhledávání

Bc. Miroslava KOZLOVÁ

Diplomová práce

Sondová diagnostika nízkoteplotního plazmatu při depozičním procesu

Anotace:
Tato magisterská práce se věnuje zjišťování parametrů nízkoteplotního plazmatu využívaného při depozici tenké vrstvy ITO pomocí sondové diagnostiky. Práce je rozdělena na část teoretickou, ve které jsou vysvětleny základní parametry nízkoteplotního plazmatu, princip sondové diagnostiky a teorie užívané pro její vyhodnocování, a část praktickou, kde jsou zpracovány výsledky provedeného měření v závislosti …více
Abstract:
This master thesis deals with examination of the parameters of low temperature plasma which is used for the deposition of thin layer of ITO. The method which is used in this thesis is the probe diagnostics. This thesis is divided into two parts. The first is the theoretical part, in which the basic parameters of low temperature plasma, principles of the probe diagnostics, and theories for this method …více
 

Klíčová slova

sondová diagnostika fyzika plazmatu depozice tenkých vrstev
 
Jazyk práce: čeština
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 12. 12. 2017

Obhajoba závěrečné práce

  • Vedoucí: Mgr. Martin Čada, Ph.D.

Citační záznam

Citovat tuto práci
Jak správně citovat práci

KOZLOVÁ, Miroslava. Sondová diagnostika nízkoteplotního plazmatu při depozičním procesu. Č. Budějovice, 2017. diplomová práce (Mgr.). JIHOČESKÁ UNIVERZITA V ČESKÝCH BUDĚJOVICÍCH. Přírodovědecká fakulta

Plný text práce

Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:
  • světu
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: JIHOČESKÁ UNIVERZITA V ČESKÝCH BUDĚJOVICÍCH, Přírodovědecká fakulta
http://wstag.jcu.cz/StagPortletsJSR168/CleanUrl?urlid=prohlizeni-prace-detail&praceIdno=44646 Odkaz na soubor do lokálního úložiště instituce
 
Název
Vložil
Vloženo
Práva
Theses d33k3p d33k3p/2
12. 12. 2017
Složky
Soubory
thesis Diplomov_prce_-__M.Kozlov.pdf
Bulánová, L.
13. 12. 2017

  • Co je jinak přidání souboru

    Soubor nebo složku lze nahrát pomocí tlačítka Přidat.

  • Co je jinak další operace se soubory

    Podrobnosti lze zjistit označením příslušného řádku.

  • Co je jinak pohled pro experty

    Pro častou práci je možné zvolit režim Více možností.

  • Co je nové vyhledávání souborů

    Vyhledávaný výraz můžete zadat přímo do adresního řádku.

  • Co je nové rychlý přístup k souborům

    Pomocí funkce Nedávné je možné se rychle vrátit k právě prohlíženým souborům. Oblíbené soubory je také možné označit Hvězdičkou.

  • Co se chystá

    Připravujeme další vylepšení pro mobilní zařízení.