Tribologické vlastnosti otěruvzdorných vrstev na bázi uhlíku

Ing. Renáta MATHESIUSOVÁ

Diplomová práce

Tribological properties of low-wear carbon-based thin films

Anotace:

Diplomová práce se zabývá tenkými otěruvzdornými vrstvami typu DLC (diamond-like-carbon) dopovanými křemíkem pro sníţení vnitřního pnutí. Tenké vrstvy byly připraveny s různým poměrem Si:a-C. Cílem práce bylo zjistit vliv depozičních parametrů na výsledné vlastnosti vrstev. V experimentální části jsou tyto vrstvy hodnoce-ny pomocí mikrotvrdosti, nanoscratch testu, Mercedes testu a metody Pin on disc. U většiny vzorků se prokáza-la dobrá adheze a nízký koeficient tření.

Abstract:

This thesis is concerned with tribological behavior of low-wear carbon-based (DLC diamond-like-carbon) thin films doped by silicon. Different deposition condition have been used to prepare coatings with different Si:a-C ratio. Different properties due to changing deposition pa-rameters. Samples have been tested using micro hard-ness, nanoscratch, Mercedes test and Pin on disc test. Most of the samples proved good adhesion and low fric-tion coefficient.

Klíčová slova

tenké vrstvy, diamond like carbon, Si, DLC, PECVD, na-noscratch, Mercedes test, Pin on disc test

Jazyk práce: čeština

Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 27. 5. 2011

Zveřejnit od: 1. 1. 2099

Obhajoba závěrečné práce

• Obhajoba proběhla 16. 6. 2011
• Vedoucí: Doc. Ing. Olga Bláhová, Ph.D.

ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI

Fakulta strojní

Magisterský studijní program / obor:
Strojní inženýrství / Materiálové inženýrství a strojírenská metalurgie