Reflexní spektroskopie struktur SOI – Mgr. et Mgr. Libor Šmejkal
Mgr. et Mgr. Libor Šmejkal
Bachelor's thesis
Reflexní spektroskopie struktur SOI
Reflectance spectroscopy of SOI structures
Abstract:
Cílem této bakalářské práce je studium a charakterizace relevantních parametrů SOI waferů užitím reflexní spektroskopie v infračerveném spektrálním oboru. Měření v NIR-VIS-UV spektrální oblasti budou prováděna na vláknových spektrometrech a měření v MIR spektrální oblasti na infračerveném fourierovském spektrometru. Reflexní spektra budou modelována a fitována programy založenými na optice tenkých …moreAbstract:
The main goal of this thesis is theoretical and experimental study of selected parameters of Silicon-on-insulator structures by using of IR reflectance CCD spectroscopy and fourier spectroscopy. The reflectance spectra will be modeled by own programmes, which are using the results of thin film optics and classical Loretz model of interaction of light with matter. The main parameter, on which we will …moreKeywords
Silicon-on-insulator tloušťka aktivní a izolační vrstvy direct wafer bonding vláknová reflexní spektroskopie fourierovská infračervená reflexní spektroskopie modelování reflexních spekter struktur SOI v MIR a NIR spektrální oblasti optika tenkých vrstev interakce světla s látkou Lorentzův model.
Language used: Czech
Date on which the thesis was submitted / produced: 23. 5. 2011
Identifier:
https://is.muni.cz/th/uvs0n/
Thesis defence
- Date of defence: 27. 6. 2011
- Supervisor: prof. RNDr. Josef Humlíček, CSc.
Full text of thesis
Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:- světu
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakultaMasaryk University
Faculty of ScienceBachelor programme / field:
Physics / Physics
Theses on a related topic
-
Měření a modelování optických spekter nanokompozitních tenkovrstvých materiálů
Josef Souček -
Odlišná odezva metabolismu fenolových látek rostlin Arabidopsis thaliana s narušenou percepcí modrého světla při aklimaci na různé spektrální složení viditelného světla a teploty.
Nikola KUZNICIUSOVÁ -
Napařování ochranných vrstev MgF2 a HfO2 na zrcadlové vrstvy.
Alexandra ŠPERKOVÁ -
\tp{Studium mechanických vlastností vybraných tenkých vrstev.}
Kamila Svobodová