Reflexní spektroskopie struktur SOI – Mgr. et Mgr. Libor Šmejkal
Mgr. et Mgr. Libor Šmejkal
Bakalářská práce
Reflexní spektroskopie struktur SOI
Reflectance spectroscopy of SOI structures
Anotace:
Cílem této bakalářské práce je studium a charakterizace relevantních parametrů SOI waferů užitím reflexní spektroskopie v infračerveném spektrálním oboru. Měření v NIR-VIS-UV spektrální oblasti budou prováděna na vláknových spektrometrech a měření v MIR spektrální oblasti na infračerveném fourierovském spektrometru. Reflexní spektra budou modelována a fitována programy založenými na optice tenkých …víceAbstract:
The main goal of this thesis is theoretical and experimental study of selected parameters of Silicon-on-insulator structures by using of IR reflectance CCD spectroscopy and fourier spectroscopy. The reflectance spectra will be modeled by own programmes, which are using the results of thin film optics and classical Loretz model of interaction of light with matter. The main parameter, on which we will …víceKlíčová slova
Silicon-on-insulator tloušťka aktivní a izolační vrstvy direct wafer bonding vláknová reflexní spektroskopie fourierovská infračervená reflexní spektroskopie modelování reflexních spekter struktur SOI v MIR a NIR spektrální oblasti optika tenkých vrstev interakce světla s látkou Lorentzův model.
Jazyk práce: čeština
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 23. 5. 2011
Identifikátor:
https://is.muni.cz/th/uvs0n/
Obhajoba závěrečné práce
- Obhajoba proběhla 27. 6. 2011
- Vedoucí: prof. RNDr. Josef Humlíček, CSc.
Plný text práce
Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:- světu
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakultaMasarykova univerzita
Přírodovědecká fakultaBakalářský studijní program / obor:
Fyzika / Fyzika
Práce na příbuzné téma
-
Měření a modelování optických spekter nanokompozitních tenkovrstvých materiálů
Josef Souček -
Odlišná odezva metabolismu fenolových látek rostlin Arabidopsis thaliana s narušenou percepcí modrého světla při aklimaci na různé spektrální složení viditelného světla a teploty.
Nikola KUZNICIUSOVÁ -
Napařování ochranných vrstev MgF2 a HfO2 na zrcadlové vrstvy.
Alexandra ŠPERKOVÁ -
\tp{Studium mechanických vlastností vybraných tenkých vrstev.}
Kamila Svobodová