Depozice tenkých vrstev pomocí plazmové tužky za atmosférického tlaku

Mgr. Jan Okleštěk

Bakalářská práce

Deposition of thin films by plasma pencil at atmospheric pressure

Anotace:

V předložené práci jsem studoval tenké vrstvy látek nanesených plazmovou tužkou na skleněný substrát. Zkoumal jsem změny vlastností vrstev v závislosti na změnách různých parametrů experimentu – geometrické uspořádání a nastavení aparatury. Zaměřil jsem se na získání voduodpudivých vrstev, které by zároveň vykazovaly vysokou odolnost vůči setření. V teoretické části se zabývám vysvětlením fyzikálních pojmů potřebných k pochopení funkce plazmové tužky a popisuji uspořádání komponent systému tužky. V praktické části následují měření a definice parametrů pro danou verzi experimentu.

Abstract:

In the present work I study deposition of thin films by plasma pencil on the glass substrate. I investigate changes in options of films in dependence on changes in different parametres of experiment - geometric configuration and other options used in experiments with the same device. Mean part of my work is finding hydrophobic and highly scratch resistant films. In theoretical part I try to explain physical terminology needed for understanding functions of plasma pencil and I describe configuration of components in system. In practical part follow measurements and parametre definitions for experimental configuration.

Klíčová slova

Plazmová tužka, plazma, hydrofobnost, tenké vrstvy, plasma pencil, plasma, hydrophobicity, thin films

Jazyk práce: čeština

Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 25. 5. 2009

Obhajoba závěrečné práce

• Obhajoba proběhla 2. 7. 2009
• Vedoucí: doc. Mgr. Pavel Slavíček, Ph.D.

Masarykova univerzita

Přírodovědecká fakulta

Bakalářský studijní program / obor:
Aplikovaná fyzika / Astrofyzika