Plazmochemická depozice diamantových vrstev v duálním mikrovlnném/vysokofrekvečním výboji – Bc. Jiří Šperka, Ph.D.
Bc. Jiří Šperka, Ph.D.
Master's thesis
Plazmochemická depozice diamantových vrstev v duálním mikrovlnném/vysokofrekvečním výboji
Plasmachemical deposition diamond films in dual microwave/radio frequency discharge
Abstract:
Tato práce se zabývá depozicí ultrananokrystalických diamantových vrstev na křemík, titan a zlato plazmochemickou depozicí z plynné fáze v mikrovlnném plazmovém reaktoru zvonovitého tvaru typu ASTeX, který využívá mikrovlnný (2,45 GHz) a radiofrekvenční (13,56 MHz) výboj. Záporné stejnosměrné samopředpětí (metoda BEN), které vzniká díky radiofrekvenčnímu výboji, bylo využito pro počáteční nukleaci …moreAbstract:
This thesis deals with the deposition of ultrananocrystalline diamond films by plasma enhanced chemical vapor deposition in conventional bell jar plasma reactor of ASTeX type using dual frequency discharge, microwave (2,45 GHz) and radio frequency (13,56 MHz). The latter discharge, leading to the dc self-biasing of the substrate, was used to initiate diamond nucleation and continued to deposit ultrananocrystalline …more
Language used: Czech
Date on which the thesis was submitted / produced: 12. 5. 2011
Identifier:
https://is.muni.cz/th/bi331/
Thesis defence
- Date of defence: 17. 6. 2011
- Supervisor: doc. Mgr. Lenka Zajíčková, Ph.D.
Citation record
ISO 690-compliant citation record:
ŠPERKA, Jiří. \textit{Plazmochemická depozice diamantových vrstev v duálním mikrovlnném/vysokofrekvečním výboji}. Online. Master's thesis. Brno: Masaryk University, Faculty of Science. 2011. Available from: https://theses.cz/id/dv84lp/.
Full text of thesis
Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:- světu
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakultaMasaryk University
Faculty of ScienceMaster programme / field:
Physics / Plasma Physics
Theses on a related topic
-
Vývoj technologie plazmochemické depozice z plynné fáze pro zlepšení užitných vlastností polymerních tenkých vrstev
Roman Přibyl -
Objemová syntéza uhlíkových nanotrubek a železných nanočástic metodou plazmochemické depozice z plynné fáze (PECVD)
Petr Synek -
Plazmochemická depozice vrstev z plynné fáze
Luboš Žák -
Plazmochemická depozice vrstev z plynné fáze s využitím směsí TVS/Ar a TVS/O2
Jakub Sadílek -
Plazmochemická depozice nanostrukturovaných diamantupodobných tenkých vrstev
Tomáš Novotný -
Plazmochemická depozice organosilikonových tenkých vrstev
Václav Pekař -
Příprava a charakterizace diamantu podobných tenkých vrstev
Radek Žemlička