Metody měření povrchové a objemové kontaminace křemíkových desek – Olga Spišáková
Olga Spišáková
Diplomová práce
Metody měření povrchové a objemové kontaminace křemíkových desek
Methods of Evaluation of Surface and Volume Contamination of Silicon Wafers
Anotace:
Tato práce se zabývá analýzou stopových koncentrací železa, niklu a mědi na povrchu a v objemu křemíkových desek. Snaží se objasnit difúzní charakteristiky jednotlivých kovů, jejich rozpustnost, precipitační chování a elektrické vlastnosti v monokrystalickém křemíku. Metodou adsorpce kovu z cíleně kontaminovaného roztoku je dosaženo rovnoměrné distribuce kontaminantu v povrchové vrstvě křemíkové desky …víceAbstract:
In this work a trace analysis of iron, nickel and copper on the silicon wafer surface and in the bulk silicon is studied. It attempts to explain metal diffusion characteristics, their solubility, precipitation behavior and electrical properties in a single crystal silicon. A uniform distribution of contaminant through the silicon surface layer was achieved by metal adsorption from intentionally contaminated …více
Jazyk práce: čeština
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 7. 5. 2015
Identifikátor:
http://hdl.handle.net/10084/109021
Obhajoba závěrečné práce
- Obhajoba proběhla 28. 5. 2015
- Vedoucí: Vlastimil Vodárek
- Oponent: Michal Lorenc
Citační záznam
Citace dle ISO 690:
SPIŠÁKOVÁ, Olga. \textit{Metody měření povrchové a objemové kontaminace křemíkových desek}. Online. Diplomová práce. Ostrava: Vysoká škola báňská - Technická univerzita Ostrava, Fakulta metalurgie a materiálového inženýrství. 2015. Dostupné z: https://theses.cz/id/fl7862/.
Plný text práce
Právo: Plné texty vysokoškolských kvalifikačních prací obhájených na Vysoké škole báňské - Technické univerzitě Ostrava jsou uloženy v repozitáři DSpace. Přístup k plným textům mají všichni uživatelé bez omezení. Přístup je omezen pouze ve výjimečných případech, zpravidla z důvodu ochrany duševního vlastnictví. Nepřístupné práce jsou označeny jako closedAccess nebo embargoedAccess. Tištěné verze prácí jsou uloženy v Ústřední knihovně VŠB-TUO a jsou prezenčně přístupné ve studovně diplomových prací. Další nakládání s prací (kopírování, opisy, MVS) se řídí Knihovní a výpůjčním řádem Ústřední knihovny VŠB-TUO.
Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:- autentizovaným zaměstnancům ze stejné školy/fakulty
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: VŠB - Technická univerzita OstravaVŠB - Technická univerzita Ostrava
Fakulta metalurgie a materiálového inženýrstvíMagisterský studijní program / obor:
Materiálové inženýrství / Technické materiály