Zpět na vyhledávání

Bc. Roman Přibyl

Bachelor's thesis

Depozice dusíkem dopovaných organosilikonových tenkých vrstev pomocí plazmatu radiofrekvenčního doutnavého výboje

Deposition of nitrogen doped thin films using plasma of radiofrequency glow discharges
Abstract:
Práce se zabývá přípravou a následnou analýzou tenkých vrstev. Organosilikonové vrstvy byly připraveny pomocí plazmatem asistované depozice z plynné fáze za použití kapacitně vázaného radiofrekvenčního výboje. Vrstvy se deponovaly v atmosféře složené z hexamethyldisiloxanu a dusíku. Po depozici byly vrstvy vystaveny laboratorním podmínkám, při kterých byla studována jejich stabilita. Mechanická stabilita …more
Abstract:
This study is focused on preparation and analysis of thin films. Organosilicon films were prepared by means of plasma enhanced chemical vapor deposition using capacitively coupled RF glow discharges. Thin films were deposited in mixture of hexamethyldisiloxane (HMDSO) and nitrogen. After the deposition the films were exposed to the laboratory environment and their environmental stability was studied …more
 

Keywords

Tenké vrstvy dusíkové vrstvy HMDSO hexamethyldisiloxan FTIR mechanické vlastnosti
 
Language used: Czech
Date on which the thesis was submitted / produced: 24. 5. 2018
Identifier: https://is.muni.cz/th/enkmj/

Thesis defence

  • Date of defence: 22. 6. 2018
  • Supervisor: doc. RNDr. Vilma Buršíková, Ph.D.
  • Reader: prof. RNDr. Vladislav Navrátil, CSc.

Citation record

Cite this text

Full text of thesis

Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:
  • světu
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta
Složka Reference to the local database directory of the institution

Masaryk University

Faculty of Science

Bachelor programme / field:
Applied Physics / Nanotechnology - Applied Physics

Theses on a related topic

List of theses with an identical keyword.