Bc. Václav Pekař

Diplomová práce

Plazmochemická depozice organosilikonových vrstev ve vysokofrekvenčním doutnavém výboji

Plasma enhanced chemical vapor deposition of organosilicon films in radio frequency glow discharges
Anotace:
Tématem této práce byla depozice tenkých vrstev metodou PECVD ve vysokofrek\-venčním doutnavém výboji. Vrstvy byly připravovány ze směsí obsahujících organosilikonové monomery hexametyldisilazan a hexametyldisiloxan. Vrstvy byly charakterizovány těmito metodami: FTIR, UV a viditelná spektrofotometrie, elipsometrie, RBS a ERDA. Byla vyšetřována především IR spektra vrstev. U vrstev připravených ze směsi …více
Abstract:
The subject matter of my diploma paper is deposition of thin films by PECVD in radio frequency glow discharge. Films were prepared out of mixtures containing organosilicon monomers hexamethyldisilasane and hexamethyldisiloxane. The characterisation of the films was accomplished by this methods: FTIR, UV and visible spectrofotometry, ellipsometry, Rutherford backscattering spectroscopy and elastic recoil …více
 

Klíčová slova

PECVD HMDSO HMDSZ plazmové polymery tenké vrstvy IR spektra
 
Jazyk práce: čeština
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 14. 5. 2010
Identifikátor: https://is.muni.cz/th/brl56/

Obhajoba závěrečné práce

  • Obhajoba proběhla 11. 6. 2010
  • Vedoucí: doc. Mgr. Lenka Zajíčková, Ph.D.

Citační záznam

Citovat tuto práci

Plný text práce

Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:
  • světu
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta
Složka Odkaz na adresář do lokálního úložiště instituce