Určování deformace tenkých vrstev pomocí rtg difrakce – Mgr. Tomáš Čechal
Mgr. Tomáš Čechal
Bakalářská práce
Určování deformace tenkých vrstev pomocí rtg difrakce
Strain determination in thin layers using x-ray diffraction
Anotace:
Tato práce je věnována studiu deformace epitaxních vrstev materiálu SiGe na Si(001) substrátu pomocí rentgenové difraktometrie. V prvních třech kapitolách jsou vyloženy základy kinematické teorie difrakce rentgenového záření, je nalezena souvislost mezi mapami rozptýlené intenzity v úhlovém a reciprokém prostoru a jsou uvedeny základní vlastnosti slitiny SiGe. V následující kapitole je popsáno experimentální …víceAbstract:
This work deals with a study of deformation of SiGe epitaxial layers on Si(001) substrate using x-ray diffractometry. In first three chapters, fundamentals of kinematical theory of x-ray scattering are presented, connection between angular-space and reciprocal-space maps of scattered intensity is estabilished and basic properties of SiGe alloy are summarized. The experimental set-up used and the method …více
Jazyk práce: čeština
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 7. 5. 2007
Identifikátor:
https://is.muni.cz/th/ymgih/
Obhajoba závěrečné práce
- Obhajoba proběhla 28. 6. 2007
- Vedoucí: Mgr. Mojmír Meduňa, Ph.D.
Plný text práce
Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:- světu
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakultaMasarykova univerzita
Přírodovědecká fakultaBakalářský studijní program / obor:
Fyzika / Fyzika
Práce na příbuzné téma
-
Studium epitaxních vrstev pomocí rtg metod
Michal Bednář -
Real-time Snow Deformation
Daniel Hanák -
Vliv vícenásobné plastické deformace na svařitelnost ocelí
Vladislav Ochodek -
Skin deformation techniques
Boris Bondarenko -
Deformace objektů pomocí FFD mřížky
Martin Fabian