Pulzní magnetronová depozice vrstev Zr-B-C-(N) a jejich vlastnosti – Bc. Pavel MAREŠ
Bc. Pavel MAREŠ
Master's thesis
Pulzní magnetronová depozice vrstev Zr-B-C-(N) a jejich vlastnosti
Pulse magnetron deposition of Zr-B-C-(N) films and their properties
Abstract:
Práce se zabývá současnou problematikou v oblasti tenkých vrstev na bázi Zr a B4C. Dále pak přehledem metod vytváření a analýzy tenkých vrstev. Ve výsledkové části se hodnotí závislost mechanických a tribologických vlastností vrstev Zr-B-C-(N), naprášených pulsní magnetronovou depozicí, na teplotě substrátů, na zastoupení Zr v erozní zóně terče a na složení atmosféry.Abstract:
This work deals with curret issue of thin films from Zr and B4C. Next there are described methods of creation and analysis of these films. In the result and discusion part of this work are analysed mechanical and tribological properties of thin films Zr-B-C-(N) created by pulse magnetron sputtering depending on substrate temperature, Zr fraction in the target errosion area and on N2 fraction in the …more
Language used: Czech
Date on which the thesis was submitted / produced: 17. 6. 2011
Identifier:
43475
Thesis defence
- Supervisor: Prof. RNDr. Jaroslav Vlček, CSc.
Citation record
The right form of listing the thesis as a source quoted
MAREŠ, Pavel. Pulzní magnetronová depozice vrstev Zr-B-C-(N) a jejich vlastnosti. Plzeň, 2011. diplomová práce (Ing.). ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI. Fakulta aplikovaných věd
Full text of thesis
Accessibility: Autor si přeje zpřístupnit práci veřejnosti až od 17. 06. 2011
Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:- světu
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI, Fakulta aplikovaných vědUniversity of West Bohemia
Faculty of Applied SciencesMaster programme / field:
Applied Sciences and Computer Engineering / Applied Physics and Physical Engineering
Theses on a related topic
-
Vysokoteplotní vrstvy Si-B-C-N a multifunkční vrstvy (Zr)-B-C-(N) připravené pulzním magnetronovým naprašováním
Petr STEIDL -
Multikomponentní keramické vrstvy připravené pulzním magnetronovým naprašováním
Tomáš KUBÁSEK -
Vliv parametrů depozice na výsledné vlastnosti kovových komponent vytvořených pomocí metody přímé laserové depozice
Michal BRÁZDA -
Pulzní laserová depozice tenkých vrstev feromagnetických oxidů a zkoumání jejich magnetických vlastností
Jan Klimek -
Studium depozice a efektů nanočástic v modelovém organismu Mus musculus
Jan Vysloužil -
Pulsní laserová depozice tenkých vrstev antiferomagnetického LaFeO3 a studium jejich strukturních vlastností
Vojtěch Kliner -
Depozice tenkých hydrofilních vrstev v povrchovém bariérovém výboji
Radek Horňák -
Vývoj technologie plazmochemické depozice z plynné fáze pro zlepšení užitných vlastností polymerních tenkých vrstev
Roman Přibyl